Brooks 布鲁克斯 MFC：热式质量流量，全量程高纯气体流量控制

Brooks Instrument 布鲁克斯是热式质量流量控制器，SLA5800、GF、AMF、Quantim 系列 MFC 覆盖气体、液体质量流量测控，广泛用于半导体、光伏、生物发酵、色谱分析、化工工艺，凭借高量程比、快速响应、多协议通讯，成为工业与科研领域热式 MFC 主流选型。

核心技术参数：SLA5800 系列热式 MFC，流量量程 0.003~2500slpm；50slpm 以下型号量程比可达 100:1，大流量型号 50:1；测量精度：20~100% 满量程 ±0.6% 设定值，低流量段 ±0.12% FS；重复性 ±0.2% 设定值；工作温度区间 - 14℃~65℃；最高耐压 1500psi（103bar）；外部氦检漏率≤1×10⁻⁹ atm・cc/s，阀门关闭泄漏量＜满量程 1%。接液材质标配 316L 不锈钢，可升级哈氏合金，适配腐蚀性特种气体。阀类型支持常闭、常开、仪表阀，阶跃响应时间 300ms~1s，快速跟随流量设定值。通讯接口丰富，模拟量 0~5V、0~10V、4~20mA 数字通讯 RS485、DeviceNet、EtherCAT、Profinet、EtherNet/IP，适配主流工控、半导体设备总线。

GF 系列金属密封 MFC，专为半导体严苛工艺设计，标准精度 ±1% 设定点，重复性可达 ±0.15% 设定值，高温型号最高工作温度 65℃，金属密封无橡胶密封圈，避免有机析出污染工艺腔体，适配晶圆刻蚀、沉积工艺。Quantim 系列科里奥利质量流量控制器，可同时测量气体与液体，液体精度 ±0.2% 读数，气体 ±0.5% 读数，量程 10~27000g/hr，最高耐压 1500psi，防护等级 IP40/IP65/IP66，支持防爆 Zone2 认证，用于高精度液体前驱体供给。GC 系列小型 MFC 面向实验室、生物反应器，量程 210~5000sccm，精度 ±1.5% 设定值 ±0.5% FS，供电 0~50℃，成本优化，适合科研、OEM 分析设备配套。

Brooks 采用热式毛细管传感原理，加热铂电阻采集气体质量携带热量，直接测量质量流量，不受温度、压力波动的直接影响，出厂针对不同气体标定，内置多气体换算表，可直接切换气体种类。产品模块化设计，传感器、阀体、驱动电路独立单元，便于维护校准。所有 MFC 出厂经过全量程多点标定，提供原厂校准证书，满足半导体、制药、实验室的计量溯源要求。

应用场景覆盖：半导体薄膜工艺、光伏电池镀膜、生物发酵气体配比、气相色谱、燃烧试验、材料热处理。SLA5800 作为经典通用型号，兼顾性价比与性能，是科研、化工、实验室型号；金属密封 GF 系列面向半导体洁净工艺；Quantim 科里奥利系列解决液体高精度质量流量控制痛点。Brooks 支持多气体程序流量曲线编程，可集成自动流量补偿算法，补偿管路压力变化带来的流量漂移。全系列抗震、抗温漂设计，长时间连续运行稳定，是高纯流体控制系统的主流选择。从实验室小试到半导体量产产线，Brooks MFC 实现从微量到大流量的全场景质量流量精准控制。