MKS 美国真空仪器：电容薄膜规、真空计与压力变送器核心技术参数

MKS 作为全球真空与过程压力测量，核心产品包含 Baratron® 电容薄膜规、MicroPirani 皮拉尼真空计、冷阴极真空规、真空阀门、射频电源等，广泛用于半导体镀膜、真空热处理、科研真空、精密化工工艺，以超高精度、低温漂、宽真空量程、优异稳定性著称，核心代表为 Baratron® 电容压力计，是高精度绝压测量产品MKS。

Baratron® 629H 加热型电容薄膜规，属于绝对压力测量，满量程可选 0.02~25000Torr，经典 1000Torr 型号精度高达 0.12% 读数，分辨率 0.001% FS；模拟输出 0-10VDC，供电 ±15VDC±5%，最大电流 0.6A；零温漂 0.002% FS/℃，跨度温漂 0.02% 读数 /℃，传感器可加热至 45℃/100℃，抑制水汽、可凝性气体吸附污染。过压限值 45psia 或 120% 满量程取较大值，接液材质 Inconel 镍基合金，耐腐蚀性工艺气体，适配洁净真空工艺；响应速度快，腔体死体积仅 6.3cc，稳定时间短，接口可选 VCR 金属密封，超高真空洁净适配。

901P MicroPirani 微皮拉尼真空变送器，测量区间 5×10⁻⁴ Torr 至大气压。在 1×10⁻³~100Torr 区间精度 ±5% 读数，重复性 ±2% 读数；100Torr 至大气压精度 ±25%；集成压电传感器可实现差压测量，差压量程 - 760~+100Torr，差压段最高精度可达 ±1%。外壳与法兰采用 304 不锈钢，传感芯片包含硅、氧化硅、氮化硅、金等低放气材料，适配真空腔体，输出支持模拟量、RS232、RS485，可集成继电器触点用于工艺联锁，工作温度 0~40℃，非工作烘烤最高 85℃，KF16 接口版本内部容积仅 2.8cc，适合小型真空腔集成。

冷阴极倒置磁控管真空规，测量下限低至 1×10⁻⁸ Torr，覆盖真空区间，配备三路可配置 SPDT 继电器，用于真空阈值报警；150/160 系列真空阀门压力耐受范围 15psig 至 1×10⁻⁹ Torr，公称通径最大 63mm，导通能力 120L/s，气缸驱动启闭，启闭时间约 2 秒，极低漏气率，满足高真空隔离需求。

MKS 射频电源产品线，输出功率覆盖 5kW、11kW、13kW，最高脉冲频率 50kHz，正向功率控制精度＜±1.0% 设定值，适配等离子刻蚀、沉积工艺。全系产品低放气、金属密封，兼容半导体洁净工艺要求。MKS 真空仪表覆盖从粗真空、高真空到超高真空全量程，多型号组合可实现一套真空系统全区间压力监测，数字化通讯方便接入 PLC 与上位系统，在精密真空制程中实现长期稳定压力闭环控制，是真空工艺的核心测量硬件