布琅轲锶特 Bronkhorst：热式 / 科里奥利双原理流量控制器小流量高精度测控

Bronkhorst 布琅轲锶特作为全球精密流体测控领域品牌，主打热式质量流量计 MFM、质量流量控制器 MFC 与科里奥利 CORI-FLOW 系列仪表，覆盖气体、液体、蒸汽多介质微小流量测量与闭环控制，广泛应用于半导体、化学气相沉积、实验室、医药、防爆化工等工艺场景，依靠高量程比、优异重复性与快速响应能力，实现微量流体精准定量供给Bronk...。

在核心精度指标上，IN-FLOW 工业数字气体质量流量控制器基础精度可达±0.5% 读数 Rd + ±0.1% 满量程 FS，重复性优于<0.2%Rd，是小流量工艺稳定控制的核心保障。量程比最高可达 1:187.5，模拟模式下 1:50，宽量程特性支持同一台仪表覆盖大跨度流量区间，减少仪表备件种类。气体测量量程覆盖 0.014mlₙ/min 至 11000m³ₙ/h（氮气当量）；热式液体仪表量程 5mg/h~1kg/h，科里奥利 CORI-FLOW 系列可达 50mg/h~2000kg/h，兼顾微量液体与中低流量计量，不受流体热传导系数干扰，可同步输出质量流量、密度、温度多参数信号Bronk...。

环境与压力参数方面，标准型号运行温度区间 - 10℃~+70℃；防爆 ATEX、FM 认证型号工作温度 0~50℃。零点温度漂移＜0.05% FS/℃，量程温度漂移＜0.05% Rd/℃；氮气介质压力敏感度典型值 0.1% Rd/bar，氢气低至 0.01% Rd/bar，压力波动对测量结果影响极小。mini CORI-FLOW 紧凑型科里奥利仪表最高耐压 200bar，防护等级 IP66/IP67，适配 2 区防爆工况，支持气液两用测量，集成 PID 闭环控制模块，自带报警与流量计数功能Bronk...。

机械与电气配置上，接液材质标配 316L 不锈钢，密封件可选 Viton、Kalrez 全氟橡胶，金属硬密封版本适配高纯、强腐蚀介质。过程接口包含 1/8"、1/4" 卡套密封、面密封接头，支持定制规格。通讯接口包含 RS232、模拟量信号，可选 Profibus、EtherCAT 等现场总线；内置 22 种气体数据库，可实时基于工况参数完成气体换算，无需人工修正。控制器标准设定响应时间 1~2 秒，快速跟随工艺流量设定值变化，适合 ALD、CVD 薄膜沉积等高速工艺。

产品系列覆盖 FLEXI-FLOW 紧凑型、IN-FLOW 工业型、mini CORI-FLOW 小流量科里奥利、VDM 蒸汽输送模块。VDM 汽化模块最高加热温度 200℃，可实现液态前驱体汽化、定量输送，入口压力最高 10barg，适配半导体前驱体输送工艺。依托模块化设计，布琅轲锶特可根据介质腐蚀性、防爆等级、流量范围定制仪表，在高纯工艺、微量化学试剂配比、催化实验、燃料电池测试领域长期稳定运行，是精密流体工艺的核心测控设备。