【简介】RENISHAW 雷尼绍-编码器-激光超高分辨率
依托激光干涉测量原理实现超高分辨率。抗环境干扰能力强，位置反馈精度优异，适配半导体、精密检测与超精密加工设备。

RENISHAW 雷尼绍-编码器-激光超高分辨率

RENISHAW 雷尼绍-编码器-激光超高分辨率

雷尼绍激光编码器采用激光干涉测量原理，突破传统光栅尺的测量极限，实现超高分辨率位置反馈，面向纳米级超精密定位场景，是精密装备的核心测量器件。不同于普通光学光栅依靠栅线读取位置，激光编码器以激光束作为测量介质，通过干涉条纹解析微小位移，能够捕捉极细微的位置变化，满足超精密加工与检测设备严苛的精度指标。

激光编码器拥有的测量分辨率，可实现亚纳米级位置分辨能力，动态响应速度优异。在运动轴低速微量进给时，依旧保持稳定信号输出，位置反馈连续性好。系统抗细分误差能力强，位置抖动低，可有效抑制常规光栅存在的周期性测量偏差，保障微小位移调节的定位一致性。同时该方案具备优秀的线性度，长行程范围内测量偏差可控，为超精密运动平台提供可靠的位置数据。

产品结构紧凑，适配多种安装布局，可用于直线位移与回转角度测量。光学测量单元经过优化设计，具备良好的环境适应性，配套信号监测功能，实时反馈光路状态。编码器支持多种高速工业接口，可对接运动控制器，集成调试便捷。广泛应用于半导体光刻设备、光学检测平台、超精密磨床、微纳加工设备、高精度计量仪器等对定位精度要求的领域。

在实际应用中，超高分辨率带来显著优势。微结构加工时，可实现纳米级进给控制，提升微细加工成型质量；精密检测场景下，微小尺寸变化可被精准捕捉，大幅提升检测灵敏度。实时信号诊断功能便于运维人员监控光路状态，提前发现光路污染、偏移等隐患，减少非计划停机，保障设备长时间稳定运行。

雷尼绍激光编码器将激光干涉技术、超高分辨率与优异的动态性能融为一体，弥补传统光栅在极限精度场景下的短板。在微纳制造、半导体、光学计量等前沿制造领域，持续输出高精度位置信号，支撑超精密闭环运动控制，是纳米级定位装备的精密测量解决方案