【简介】RENISHAW 雷尼绍-编码器-波长基准激光测量
以激光波长作为天然测量基准，溯源精度高。抗干扰强，分辨率优异，适配半导体、光学检测等超精密定位设备。

RENISHAW 雷尼绍-编码器-波长基准激光测量

RENISHAW 雷尼绍-编码器-波长基准激光测量

雷尼绍波长基准激光编码器以稳定的激光波长作为测量基准，依托激光干涉原理实现位移检测，区别于传统光栅依靠实体栅线作为度量标尺，拥有天然的计量溯源能力，是半导体、光学计量领域纳米级定位平台的核心测量系统雷尼绍。

传统光栅尺的精度受光栅刻蚀工艺、基底材料形变影响，标尺本身存在制造误差。雷尼绍激光编码器采用稳频氦氖激光源，以 633nm 激光波长作为长度基准，具备国际认可的计量溯源特性。激光经分光形成参考光束与测量光束，通过干涉条纹相位变化解析位移，摆脱实体栅尺制造精度限制，大幅降低细分周期误差，可实现亚纳米级分辨率，捕捉极其微小的位置变化雷尼绍。系统配套环境补偿模块，可实时修正空气温湿度、气压带来的折射率波动，降低环境扰动对激光波长的影响，保障测量真值稳定。

整套系统采用模块化光学设计，光纤传导激光，光路布置灵活。无接触式测量方式，不存在机械磨损，长期使用不会产生标尺老化带来的精度衰减。支持多种高速数字接口，可对接运动控制器，实现高速动态位置反馈。产品广泛用于半导体晶圆载台、光刻设备、光学干涉检测平台、超精密磨床、纳米定位台等对精度溯源要求严苛的装备。

在实际工程应用中，波长基准带来显著优势。测量基准具备可溯源性，满足计量校准需求；无实体栅尺，不受长行程栅尺拼接误差困扰，可实现长距离超高精度测量。系统自带光路诊断功能，实时监测激光功率、干涉信号质量，及时识别光路污染、偏移等隐患，便于运维人员提前维护，降低设备停机风险。

雷尼绍将稳频激光技术、干涉光学与环境补偿算法融为一体，把激光波长作为天然长度基准，突破传统光栅的精度上限。在微纳制造、前沿光学检测等场景，提供可溯源、高稳定的位移反馈，支撑超精密运动平台实现纳米级闭环定位，是计量级超高精度位移测量的优选解决方案。