Fuji‑Techno 精密计量泵标准化操作，流量标定与介质输送注意事项

富士技术工业（Fuji‑Techno）无脉动计量泵分为柱塞式、隔膜式两大系列，多用于半导体药液、电镀试剂、精密化工微量给药。该设备依靠多相位凸轮实现低脉动输出，整机计量精度很高，但装配、排气、管路配套、启停操作不规范，会直接出现流量偏移、压力脉动、隔膜破损、单向阀失效等故障。下文梳理完整标准化操作流程，覆盖安装调试、运行调节、停机清洗、操作禁忌。

一、开机前装配与管路检查

全部装配作业断电执行。

1. 型号与介质核对确认泵头、隔膜、单向阀密封材质与输送药液兼容。隔膜机型严禁输送带硬质颗粒介质，颗粒会划伤隔膜造成泄漏。检查泵头各接头无裂纹，PTFE 单向阀组件完整无缺损。

2. 管路安装要求吸入管路尽量短、管径不能小于泵入口口径，减少吸气阻力，吸程不宜过高；入口建议配置过滤器，拦截杂质保护单向阀阀片。出口管路配套安全阀、背压阀，背压稳定是实现无脉动效果的关键；出口严禁直接关闭阀门运行，憋压会造成泵头、隔膜损坏。管路重量不要压在泵体接头上面，避免泵头受力变形。

3. 电气与机械检查确认供电电压匹配，三相机型点动确认电机转向与壳体标识一致，转向错误会直接不出液、损伤凸轮传动机构。检查联轴器防护罩完好，手动盘动传动轴，转动顺畅无卡滞卡顿。

二、管路排气，计量精度的前置关键

计量泵腔、管路内部留存气泡，会直接造成流量不稳、脉动变大、计量失准，新装机、更换介质、停机重启都必须完成排气。

1. 打开进出口管路阀门，药液储罐液位高于泵入口。

2. 开启设备，将冲程、转速调至较低档位，进行循环排气；打开排气接口，持续排液直至流出液体连续稳定，无气泡夹杂。

3. 气泡排净之后，再逐步上调参数投入工艺运行。

半导体高纯药液工况，排气过程避免空气大量混入药液，防止介质氧化变质。

三、参数调试与流量标定

富士技术工业计量泵流量依靠冲程长度 + 电机转速双重调节。

1. 初次调试不要直接拉满冲程与转速，采用低参数空载运行几分钟，观察泵体异响、泄漏情况。

2. 冲程调节：改变柱塞往复行程，调整单次排液容积；转速调节改变单位时间往复次数。大流量变化优先调转速，精细微调优先调整冲程。

3. 实际工艺介质下做流量标定：收集单位时间输出介质，核对实际流量与设定值。粘度、背压发生变化之后，需要重新标定，保证给药精度。

4. 观察出口压力表，压力维持在设备额定工作区间。压力异常升高，代表出口管路堵塞；压力持续波动，优先排查背压阀、单向阀以及管路是否进气。

四、正常运行期间操作要点

1. 运行阶段重点监控三项：输出流量稳定性、泵头有无药液渗漏、运行噪音振动。隔膜机型一旦出现泵头漏液，立刻停机排查隔膜破损。

2. 不要频繁超频超速运行，高转速会加剧单向阀、隔膜磨损，破坏无脉动补偿效果。

3. 输送易结晶、易析出药液，不可长时间停机滞留泵腔；间歇使用要定时循环，防止溶质结晶卡滞单向阀。

4. 无脉动为抑制脉动，并非绝对零脉动；超高要求工况，配合后端缓冲器件进一步优化流体状态。

五、标准停机操作

1. 短时间停机：先停止泵运行，再关闭管路阀门，不要带压强制停机。

2. 更换介质、长期停机、输送腐蚀性药液：停机之后，使用兼容清洗溶剂对泵头、管路循环冲洗，把泵腔内部残留工艺介质置换排出，防止药液结晶腐蚀单向阀、隔膜组件。

3. 冲洗完成之后，排空泵腔内部清洗液；隔膜泵避免药液长时间压在隔膜一侧静置，减少隔膜应力老化。

4. 设备长期停用，做好防尘保护，泵头内部不要留存腐蚀性介质。