富士技术工业（Fuji‑Techno）无脉动计量泵｜仪器文献与工程应用案例

一、设备核心技术文献摘要

1. 核心工作机制

区别普通单柱塞、隔膜泵换向产生流量脉冲，设备采用错位相位凸轮驱动多柱塞交替吸排，一组柱塞换向间隙，另一组柱塞接续排液，抵消流量断档，实现接近连续的流体输出。分为柱塞式、隔膜式两大结构：柱塞式计量精度更高；隔膜式依靠 PTFE 隔膜隔离传动机构与药液，实现无泄漏输送腐蚀性介质。

2. 关键性能参数

• 流量范围：15.3mL/min‑117.8L/min，覆盖实验室小试至中试生产规模

• 计量重复性：±0.1% FS，流量与转速线性对应

• 耐压等级：标准 98bar，部分型号支持 200‑250bar 高压定制

• 过流材质：SUS316L、哈氏合金、钛材、PTFE、PEEK，适配腐蚀、高纯介质工况

• 控制方式：手动冲程调节；伺服变频，支持 4‑20mA 模拟量对接 PLC 自动化产线。

技术提示：设备为抑制脉动，非绝对零脉动；涂布、微反应等工况，建议配套脉动缓冲组件进一步优化流体状态。

二、工程实际应用案例

案例 1：半导体狭缝涂布工艺

工况：12 寸晶圆狭缝涂布，输送光刻胶、显影液，介质粘度 50‑5000cps，产线 24 小时连续运行。选用配置：HYM‑03 柱塞型，SUS316L 电解抛光泵头，伺服电机控制。原有痛点：普通隔膜泵脉冲波动，造成涂层膜厚偏差，晶圆出现局部色差，产品良率受限。应用效果：无脉动稳定给药，膜厚公差控制 ±0.02μm；流量不受后端滤网轻微堵塞压力扰动，产线良率提升，广泛应用面板、半导体涂布线。

案例 2：PCB 蚀刻药液在线补加

工况：线路板蚀刻产线，持续微量补加含氯离子蚀刻母液，介质强腐蚀。选用配置：隔膜式计量泵，哈氏合金泵头，耐氯离子腐蚀。应用效果：药剂投加量稳定，减少蚀刻槽药液浓度波动，PCB 线路线宽误差降低，药液更换周期延长 30%，减少人工补液频次。

案例 3：连续流微反应化工实验

工况：高校、新材料企业微反应平台，多组分试剂按比例连续进料，部分介质易结晶。选用配置：双泵同步控制系统，PTFE 过流部件，支持 4‑20mA 信号联动。应用效果：多物料配比比例稳定，脉冲干扰被抑制，避免脉冲带来瞬时配比偏移；停机后执行溶剂冲洗流程，防止溶质结晶卡滞单向阀，保障小试数据可重复复现。

案例 4：锂电池研发实验室电解液配比

工况：实验室反应釜，锂盐、溶剂、添加剂微量精密配比，部分介质遇空气易氧化。选用配置：柱塞型计量泵，密封管路配套，可配合惰性气体保护。应用效果：给药精度高，配比误差小；流量不受系统背压小幅变化干扰，为电池材料配方研发提供稳定流体条件。

案例 5：精密涂布、辊涂涂装工艺

工况：薄膜基材辊涂生产，涂料、助剂连续输送，对喷嘴喷射稳定性要求高。选用配置：HYSA 系列计量泵。原有痛点：泵体脉冲造成喷嘴流量忽大忽小，涂层厚薄不均，出现条纹缺陷。应用效果：输出液流平稳，喷嘴喷射颗粒状态稳定，改善涂膜均匀性；适配浸涂、辊涂多种涂布方式。