Autoflow Products FS 系列流量开关广泛应用于半导体工艺吹扫、气相液相色谱、化学分析仪、危险气体管路,用来监测管路内气体、液体流动状态,实现欠流、断流报警与系统联锁保护。产品属于活塞‑磁簧磁控式机械式流量开关,不依赖复杂电子传感芯片,依靠流体力学与磁耦合完成信号触发,结构部件少,适配高压、防爆、低压差严苛工况。
整机主要由 316 不锈钢阀体、可移动活塞组件、复位弹簧、永磁磁体、隔离密封结构、外部磁簧开关(SPDT 触点)、流量调节机构组成。永磁磁体封装在介质腔内部,通过 Autoseal 隔离密封结构,将工艺介质与电气部分隔开,介质不会接触磁簧开关电气元件,适配腐蚀性、易燃易爆介质,同时满足防爆认证要求。FS5900 型号配置特殊优先流道,专门针对系统压差极小的微量吹扫气路场景。
管路有流体流动管路内气体或者液体流入阀体,流体压力推动内部活塞克服复位弹簧弹力发生位移,活塞上面集成永磁磁体同步移动。当实际流量达到设定动作阈值,永磁体移动到对应位置,磁力穿透金属阀体,触发外部密封的磁簧开关,SPDT 触点发生通断切换,输出开关量信号给 PLC、报警回路或者联锁系统。
流量下降 / 断流状态当管路流量降低至低于设定阈值,流体推力不足以克服弹簧预紧力,复位弹簧推动活塞回退,永磁体随之离开磁簧开关感应区域,磁簧开关触点复位,输出信号状态翻转,系统识别欠流、断流故障,执行报警、设备停机保护动作。
流量阈值调节逻辑通过外部调节螺钉改变复位弹簧预压缩量,即可调整触发流量阈值,无需拆解阀体,可在设备现场直接调校动作点。弹簧预紧力调大,需要更大流量才可以推动活塞;预紧力调小,较低流量即可触发开关动作。
关键特点:磁体与磁簧开关非接触式耦合,没有机械摩擦接触,电气部件不接触工艺介质。
普通活塞流量开关,系统压差过低时,流体推力不足,容易出现漏触发、误报警。FS5900 系列内置优先流道结构,一小部分介质直接作用于活塞有效受压面,在系统整体压差很小的吹扫回路,依旧可以产生足够推力驱动活塞位移,解决半导体微量保护气、分析仪样品回路低压气源监测难题,避免气源压力波动带来误动作。
电气输出为 SPDT 单刀双掷磁簧触点,支持常开、常闭两种接线方式,适配 120VAC/100VDC 控制回路,触点功率 3W。介质侧与电气侧隔离,可选防爆外壳,取得 I 级 Div1 危险场所防爆认证,可用于化工、易燃易爆特种气体管路,杜绝介质接触电气触点带来的安全隐患。
非接触磁耦合:介质腔内部只有活塞一个运动部件,电气元件隔离,介质不会污染、腐蚀开关触点,使用寿命长。
安装姿态不敏感:弹簧‑活塞结构经过优化,水平、垂直任意方位安装,均可稳定触发,适配柜体狭小 OEM 设备集成。
现场可调阈值,不用解体设备,适配不同工艺流量需求。
无电子元器件,不需要供电,高温、振动工况稳定性优于热式流量开关。
半导体吹扫气路:监测惰性保护气,一旦吹扫气断流,立刻输出联锁信号,切断工艺,保护腔体器件。
分析仪器(GC/LC):样品回路流量确认,确认样品正常输送才启动检测流程。
危险化工介质管路:断流报警,防止泵干转、工艺异常泄漏风险。
2026-09-11
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