Sensirion 盛思锐｜CMOSens® 单芯片传感，重构多参数感知底层逻辑

Sensirion 盛思锐以自研 CMOSens® MEMS 芯片技术为根基，将传感元件、放大电路、ADC 模数转换、校准存储单元集成于单硅芯片，是温湿度、流量、差压、气体、颗粒物多品类传感器核心供应商，广泛应用于暖通、医疗、汽车、工业自动化、空气质量监测领域，其核心优势源于一体化 MEMS 芯片的底层工作原理Sensirion。

盛思锐热式流量传感器采用微热温差测量原理。芯片薄膜中央集成可控加热元件，在流体流向的上下游对称布置一对温度传感单元。介质流经薄膜表面时，流体携带热量向下游传感器转移，上下游形成稳定温差；温差大小与流体质量流量呈对应关系，芯片内置算法将温差信号转化为流量数值。传感器支持双向流量检测，芯片自带集成温度传感器，实时做温度补偿，无需外部补偿元件，降低系统集成复杂度。该原理可实现 nl/min 级超微液体流量检测，低至 100ml/min 的微小气体流量同样具备高灵敏度，抗零点漂移、迟滞与安装方位干扰，抗冲击与温度波动性能优于传统压阻式薄膜传感器Sensirion。

电容式湿度传感器是盛思锐标志性产品，传感核心为聚合物介质电容器。聚合物电介质会随环境相对湿度吸收或释放水分子，介电常数随含水量同步变化，电路持续检测电容变化换算相对湿度；温度测量依托片上双极晶体管，温湿度信号同源采集，同步计算露点值，消除多传感器空间分布带来的测量误差，SHT 系列温湿度传感器精度可达 ±0.2℃，长期稳定性优异，单颗出厂独立校准。

在气体检测产品线中，VOC 与 NOx 传感器采用 MOX 金属氧化物原理，芯片加热金属氧化物薄膜，氧化性气体提升薄膜电阻，还原性 VOC 气体消耗表面氧分子降低电阻，通过电阻变化实现气体浓度量化；颗粒物传感器依托激光光散射原理，激光照射空气中悬浮颗粒，采集散射光谱信号，内置 ASIC 芯片解析粒径分布，输出 PM1.0、PM2.5、PM4、PM10 质量与数量浓度。

CMOSens® 技术将 MEMS 微加工与标准 CMOS 半导体工艺融合，所有传感器出厂完成标定，一致性强，批量量产稳定性高，车规型号满足 AEC-Q100 认证。单芯片方案大幅缩减传感器体积，简化外围电路，低功耗特性适配电池供电设备，从室内空气监测、呼吸机流量采集，到工业管道微量气体监测，盛思锐依靠一体化传感原理，为设备提供高精度、数字化的环境感知方案。