多原理流量测控，精准微流控｜Bronkhorst 布琅轲锶特仪表工作原理

Bronkhorst 布琅轲锶特是欧洲小流量测控领域专业厂商，专注质量流量计、质量流量控制器 MFC 研发，覆盖热式、科里奥利、超声波三大测量原理，针对气体、液体微小流量实现测量与闭环控制，广泛应用于半导体、化学试剂加注、生物医药、实验室反应釜、镀膜工艺等精密制程，核心产品包含 EL-FLOW、IN-FLOW 热式 MFC、mini CORI-FLOW 科里奥利流量计、ES-FLOW 超声波液体流量计Bronk...。

热式质量流量（EL-FLOW/IN-FLOW）是气体 MFC 最主流原理。仪表主体包含层流分流元件、毛细管传感支路、加热测温元件、控制阀门与 PID 控制电路板。流体进入仪表后，层流叠片将介质按固定比例分流，一小部分介质流入毛细管传感器。传感器管路上布置两组测温电阻，一组检测介质基础温度，一组加热介质。当流体静止时，上下游温差恒定；流体流动时，流动介质带走热量，上下游产生温差 ΔT。温差大小与介质质量流量成正比，传感器采集温差信号，转换为流量数值。主通道层流元件保证分流比例稳定，传感器测得支路流量换算为管道总质量流量。电路板将实测流量与设定值对比，通过 PID 算法实时调节内置电磁阀开度，动态维持流量稳定，不受压力小幅波动影响。液体热式分为 CTA 恒温差、CPA 恒功率两种模式：CTA 保持上下游恒定温差，测量维持温差所需加热功率计算流量；CPA 输入恒定加热功率，直接检测流动带来的温差，实现液体微流量测量Bronk...。

科里奥利 Coriolis 原理（mini CORI-FLOW）可直接测量质量流量，不受介质温度、压力、组分变化影响。流体进入振动测量管，流体流动产生科里奥利力，造成测量管两端相位偏移，相位差与介质质量流量呈线性关系。同时可同步测量介质密度、温度，适合混合气体、未知组分液体、高精度化学投料，是高要求工艺的流量测量黄金方案。

ES-FLOW 超声波流量计采用时差法超声波原理，管道外壁安装超声收发探头，超声波顺流、逆流双向传播，测量纳秒级传播时间差，计算介质流速和声速，换算体积流量。管道内部无阻挡件，无死区，无磨损部件，适合低粘度、洁净液体，可自动识别介质声速，无需更换介质重新标定。

整套 MFC 集成测量、PID 控制、阀门执行一体化，支持 RS232、RS485、模拟量 4-20mA/0-10V 通讯。数字电路板实时采集流量，快速闭环调节阀门，响应速度快，重复性优异。不同原理产品互相搭配，覆盖从纳升级液体到大流量气体的测控场景，在半导体镀膜、试剂配比、疫苗生物制药等高精密工艺中，保障加料配比一致性，减少原料损耗，提升工艺良率。