全量程流量管控，半导体级精密｜Brooks Instrument 布鲁克斯仪器技术参数

Brooks Instrument 布鲁克斯是全球质量流量控制器、转子流量计、真空压力传感器品牌，产品覆盖热式 MFC、科里奥利质量流量计、金属管浮子流量计、真空电容压力计，在半导体、光伏、生物制药、特种气体工艺大量应用，以高重复性、低泄漏、宽量程比为核心特点。

SLA5800 系列热式气体质量流量控制器为行业经典型号，流量量程覆盖 3sccm~30000sccm，精度指标：满量程 ±1%（含线性度），重复性 0.25% 读数，量程比可达 100:1；工作温度范围 - 14℃~65℃，最小压差 0.35bar，最大耐压最高可达 103bar。外部泄漏率≤1×10⁻⁹ atm・cc/s（氦检），阀门关断泄漏量低于满量程 1%；姿态灵敏度优异，安装姿态带来零点偏差小于满量程 0.2%。支持多气体内置标定页面，N₂、O₂、CO₂、Air 可现场切换，无需返厂校准，通讯兼容模拟量 0~5V/4-20mA、数字总线，适配半导体刻蚀、沉积工艺。

Quantim QMC 科里奥利质量流量计，支持气体、液体介质，流量范围 10~27000g/hr；液体测量精度 0.2% 读数，气体 0.5% 读数，重复性 ±0.05%，最高耐压 1500psi，工作温度 0~60℃，防护等级可选 IP40/IP65/IP66。直接测量质量流量，不受温度压力波动影响，同步采集介质密度、温度，适合高价值试剂精准加注。

MT3750 金属管浮子（变面积）流量计，适用于气液通用，水介质量程最高 100L/h，空气量程按需选型，测量精度 ±5% FS，重复性优于 1% FS，最大耐压 4000psi，耐高温高压工况，无供电无源测量，适合现场就地流量指示。

XacTorr 系列加热电容真空压力计，压力量程 0.1Torr~1000Torr，最高精度 0.25% 读数，自带控温加热功能，防止工艺气体冷凝污染传感器，支持 DeviceNet、RS485 数字输出，半导体真空腔体监测标配。

布鲁克斯产品全系列可提供材质证书，NIST 溯源校准报告，生物工艺版本采用 Class VI 弹性体，满足 FDA 制药合规要求。新一代 MFC 量程比最高可达 250:1，低流量段依然保持高精度，内置高级自诊断功能，实时监测零点、阀门状态，提前预警故障，提升产线稼动率。湿接部件可选 316L 不锈钢、哈氏合金，适配腐蚀性特种气体。

产品广泛用于半导体晶圆制造、光伏镀膜、生物反应器、特种化工配气。布鲁克斯 MFC 兼顾实验室研发与量产产线，在严苛的高纯气体、真空、腐蚀工况下，保持长期稳定的流量控制，降低工艺波动，是精密流体控制领域的核心设备