真空与气体控制专家，MKS 质量流量控制器核心技术参数

美国 MKS 是全球半导体、光伏、真空工艺领域头部厂商，专注真空测量、气体质量流量控制、气体分析、压力控制设备，核心产品为 MFC 质量流量控制器、皮拉尼真空计、压力传感器、气体分析仪，在半导体刻蚀、沉积、镀膜工艺中，实现气体流量精准闭环控制，是精密制程的核心元器件。

MKS C 系列 MFC 为紧凑型高速质量流量控制器，采用 MEMS 热式流量传感芯片，全量程规格氮气当量流量覆盖 15~14000sccm，控制区间 0.1%~100% 满量程，远超传统 MFC 的下限，小流量控制能力突出。测量精度为设定值 ±0.8%，响应时间＜100ms，可快速跟随上位机流量指令调整，零漂与量程漂移极低，长期重复性稳定。供电采用标准 24VDC，通讯支持 0~5V 模拟量、RS485、PROFINET、Modbus TCP，集成网页调试界面，无需额外软件即可参数配置与故障诊断，支持表面贴装式结构，可紧凑集成在气体气柜面板，节省设备空间，适用于非腐蚀性工艺气体控制MKS。

MF1 通用型 MFC 量程覆盖 10~50000sccm，压差工作区间 0.7~2.7bar，耐压爆破压力最高 50bar。测量精度：满量程 40~100% 区间为设定点 ±1%；2~40% 区间为满量程 ±1%，重复精度 ±0.2% FS，分辨率 0.1% FS，温度零点漂移＜0.04% FS/℃，适配常规工业气体、惰性气体。P 系列高性能 MFC，爆破压力高达 1500psig，0.1%~100% 全量程调控，分辨率 0.1% FS，工作温度区间 10~50℃，可选 Buna、Viton、EPDM 多种密封材质，适配部分轻微腐蚀性气体，满足严苛半导体工艺需求MKS。

真空测量产品 901P MicroPirani 皮拉尼真空传感器，测量范围 1.33×10⁻³Pa 至 1.99×10⁵Pa，独立于气体种类完成绝对压力测量；902B 绝对压电传感器量程 1.33Pa~1.33×10⁵Pa，910 DualTrans 双传感集成模块，将皮拉尼与压电传感合二为一，宽量程真空监测，用于真空腔体压力实时采集。

配套 TFS 可调滤波光谱气体分析仪，可实时分析气体组分，月零漂≤0.2%，全寿命周期最大漂移 0.5%，样气压力 0.1~5psig，样气流量 0.1~2L/min，工作温度 - 20~50℃，支持 Modbus 以太网与 RS485 通讯，具备防爆认证，用于工艺尾气、制程气体组分在线检测。

MKS 设备广泛应用半导体晶圆制造、光伏电池镀膜、真空热处理、特种气体配比。产品核心优势在于 MEMS 传感与高速闭环阀控，小流量精准调控、多协议数字化通讯、宽压力耐受，配合的诊断功能，降低半导体产线停机风险，是精密气体制程的主流测控品牌。