MEMS 传感黑科技，Sensirion 盛思锐传感器核心工作原理

盛思锐 Sensirion 来自瑞士，依托自研 CMOSens® 单片集成传感平台，将 MEMS 传感元件、信号调理电路、标定存储单元集成在同一硅芯片，打造温湿度、气体流量、压差、PM 颗粒物、CO₂多品类传感器，凭借微型化、出厂全标定、温度自补偿特性，大量应用于医疗设备、暖通空调、工业自动化、空气质量监测、消费电子领域。

热式质量流量传感器是盛思锐标志性产品，核心为微机电量热式测量原理。芯片膜片中心布置可控加热元件，在流体流动方向上下游对称布置两枚温度传感元件。无流体流动时，上下游温度一致；当气体或液体流过传感膜片，流体带走热量，下游传感器温度高于上游，上下游形成稳定温差，温差大小与介质质量流量成线性关系。芯片内置温度传感器实时采集介质温度，自动完成温度补偿，消除环境温度对测量结果的干扰，无需外部补偿电路。该原理支持双向流量检测，极低流量下依然具备高灵敏度，迟滞、零点漂移极小，抗震动与温度波动能力强，每颗传感器出厂独立标定，输出信号线性化处理，用户直接读取校准后数值，无需二次标定，SFM 系列流量传感器均采用此技术，用于呼吸机、气体分析仪、工业气体回路监测Sensirion。

电容式湿度传感器用于温湿度一体模组，传感单元为聚合物介质电容，聚合物会随环境相对湿度吸收或释放水分子，介电常数随含水率变化，电容值同步改变，电路采集电容变化换算相对湿度；片上晶体管同步采集环境温度，实现温湿度同步采集，体积微小、功耗低，是室内空气监测、暖通、医疗设备常用方案。

PM2.5 颗粒物传感器采用激光光散射原理，内置微型风扇形成稳定采样气流，空气携带颗粒物进入检测腔，颗粒物穿过聚焦激光束发生光散射，光电二极管捕捉散射光信号，芯片内置算法根据散射信号强度、脉冲计数，计算颗粒物数量、粒径分布，输出 PM1.0、PM2.5、PM4、PM10 质量浓度，SPS30 颗粒物传感器即采用该架构，用于空气净化器、楼宇空气质量监测。

CO₂传感器采用 PASens® 光声光谱技术，红外光照射腔体内 CO₂分子，分子吸收光能产生热膨胀形成压力声波，麦克风采集声波强度换算二氧化碳浓度，相比传统 NDIR 红外传感器，体积更小、功耗更低。VOC 传感器采用 MOXSens® 金属氧化物传感技术，CMOSens 平台集成金属氧化物气敏元件，吸附 VOC 气体后电阻发生变化，实现挥发性有机物浓度检测。

CMOSens® 一体化架构是盛思锐核心壁垒，传感、放大、A/D 转换、标定数据存储全部单片集成，简化客户外围电路设计，降低产品开发难度。全系列传感器数字输出为主，I2C 通讯，低功耗设计，兼顾工业与消费级场景，广泛应用于医疗呼吸设备、洁净厂房监测、楼宇 HVAC、新能源电池热管理、室内空气质量监测，凭借稳定可靠的 MEMS 传感原理，成为全球传感芯片核心供应商。