多自由度测量革新，雷尼绍发布 RXMA30 绝对光栅与 PH20 PLUS 五轴测头新品

雷尼绍在光电、精密测量领域持续迭代创新，近期重磅推出 RXMA30 1.5D 绝对式多自由度光栅系统、PH20 PLUS 五轴触发测头两大核心新品，同时升级 XC100 环境补偿模块，面向半导体运动平台、五轴加工中心、三坐标测量机市场，补齐多维度误差实时测量与深腔零件检测短板，为装备提供新一代位置感知解决方案。

RXMA30 1.5D 绝对光栅是本次发布的核心亮点，可搭配成熟 RESOLUTE 读数头，构建最多 6 自由度同步测量系统。传统光栅大多仅能实现单轴位置读取，直线导轨直线度、俯仰偏摆等几何误差只能依靠机床预标定补偿，无法实时感知。RXMA30 栅尺集成独立测量轨道，能够直接采集 X/Y 双轴位移，同步捕捉直线度、滚转、俯仰、偏摆等多项空间误差，上电无需回零，即刻读取绝对坐标。设备控制系统可根据实时采集的多维误差数据动态补偿，大幅降低导轨制造、装配、温度形变带来的定位偏差，尤其适合半导体晶圆载台、光学精密运动平台这类对空间姿态控制要求的设备。栅尺在剧烈温度波动、高速运动工况下依旧保持高重复性，帮助设备厂商简化复杂误差标定流程，缩短设备调试周期。

同步推出 PH20 PLUS 五轴触发测头，作为经典 PH20 测头的迭代升级产品，检测行程提升 300mm，相比上代产品可触及零件更深内腔与复杂倒扣特征。产品继承 REVO 五轴测头无限定位技术，减少三坐标动态测量误差，支持 TP20 测头模块自动更换，兼顾高速触发测量与柔性换针，解决复杂壳体、深腔模具、航空结构件内部特征检测难题。在批量精密检测场景，PH20 PLUS 可显著减少工件重复装夹，提升三坐标设备检测吞吐效率，降低复杂零件检测工时。

配套新品 XC100 环境补偿器，在原有 XC80 基础上优化算法，激光线性测量精度提升至 0.4ppm，实时采集温湿度、气压参数，自动完成激光波长修正，削弱车间环境波动对激光干涉测量的影响，在普通机加工车间环境，依旧保障精密校准数据稳定可靠。除此之外，雷尼绍同步升级 inVia 共聚焦拉曼显微镜 TRRS 时间分辨模块，采用 50 皮秒时间精度 SPAD 阵列探测器，通过时间分辨技术分离荧光背景干扰，实现以往难以测量的高分子、颜料类样品拉曼光谱采集，拓展材料微观表征边界。

本次雷尼绍新品矩阵，覆盖运动位置反馈、工件几何检测、环境误差补偿、材料微观表征四大方向。核心思路是从单一维度测量升级至多自由度空间感知，降低精密装备对安装环境、装配工艺的苛刻要求。新品面向半导体装备、航空精密加工、材料科研等行业，为制造装备提供更高精度、更强柔性、更稳定的测量底层能力，助力国产机床与半导体设备实现性能升级。