【简介】Bronkhorst布琅轲锶特-气体控制器-真空气控
真空气控。热式质量流量传感，适配真空工艺，测控精准响应快，支持多气体切换与数字通讯，可选金属密封，适配镀膜、半导体等真空供气场景

Bronkhorst布琅轲锶特-气体控制器-真空气控

Bronkhorst布琅轲锶特-气体控制器-真空气控

ronkhorst 布琅轲锶特气体控制器，针对真空工艺供气需求打造稳定流量解决方案，是真空制程领域可靠的真空气控设备。品牌深耕精密流体测控领域数十年，产品广泛应用于真空镀膜、半导体沉积、等离子工艺、实验室真空反应腔体等场景，为各类真空环境下的微量气体供给、配比与吹扫提供高精度质量流量测量和闭环控制。

设备采用成熟热式质量流量传感技术，直接测量气体质量流量，不受真空腔体内压力波动、温度变化干扰，保障真空工况下流量数据稳定可靠。测控重复性优异，闭环调节响应迅速，能够快速跟随设定值调整供气流量，满足薄膜沉积、刻蚀、等离子激发等真空工艺对气体供给连续性的严苛要求。内置智能气体转换算法，支持多种标准气体参数切换，单台控制器可适配多种工艺气体，灵活切换实验或生产配方，降低设备采购成本。

产品具备优秀的真空适配能力，可选全金属密封结构，实现极低泄漏率，避免外界空气渗入真空腔体，保障腔体真空度稳定。配备丰富数字通讯接口，兼容 RS232、RS485、Modbus 等主流通讯协议，可轻松对接工控 PLC、上位机与真空腔体控制系统，实现远程流量设定、实时数据采集、运行状态监控与故障报警，完整留存工艺数据，方便生产追溯。

整机结构紧凑，安装适配性强，便于集成在真空腔体供气管路中，日常维护简单。流量量程覆盖宽泛，从超微量到中流量均可选型，既适用于科研实验室小型真空反应装置，也可批量配套工业连续真空产线。每台设备出厂均完成严格校准与检漏测试，长期运行零点漂移小，减少停机标定频次，保障真空工艺不间断运行。

布琅轲锶特提供的配套技术服务，包含前期选型评估、现场调试、后期校准维护等全周期支持。真空工艺中，气体流量的微小波动都会直接影响膜层均匀度与成品良率。布琅轲锶特气体控制器凭借优异的真空适配能力、稳定的流量测控性能，解决真空管路供气控制难题，为半导体、镀膜、真空科研等行业的真空气控工艺筑牢可靠根基。