Bronkhorst质量流量控制器落地电转气与半导体工艺

Bronkhorst 布琅轲锶特作为欧洲精密流量测控品牌，专注气体、液体质量流量测量与控制，其质量流量控制器、科里奥利质量流量计广泛应用于新能源、半导体、生物制药、精细化工领域，在国内多个标项目实现稳定量产应用，本次案例聚焦 Power-to-Gas 电转气储能项目与半导体 MOCVD 工艺、生物反应器三大落地场景，展现小流量高精度测控技术实力。

欧洲电转气（Power-to-Gas）项目是布琅轲锶特标志性客户案例。项目利用电解水制氢，氢气与 CO₂通入厌氧生物反应罐，依靠微生物催化合成甲烷，甲烷可直接并入天然气管网，实现富余绿电储存。该工艺对 H₂、CO₂两种气体配比精度要求，气体配比偏差会直接降低甲烷转化效率。项目选用 Bronkhorst IN-FLOW 系列气体质量流量控制器，控制流量区间 10~50ln/min，反应容器工况 1~10bar、65℃，区域属于 ATEX Zone2 防爆环境，仪表具备防爆认证。两台 MFC 分别精准控制氢气、二氧化碳进气流量，实时闭环调节，稳定维持反应气摩尔配比，保障微生物代谢稳定。整套系统长时间连续运行，流量重复性优异，帮助客户提升甲烷产率，降低原料气损耗。

半导体行业，布琅轲锶特 MFC 用于 LED 外延 MOCVD 工艺，精准控制载气、前驱体稀释气体流量；FOUP 晶圆盒吹扫工艺采用布琅轲锶特流量控制器，稳定吹扫惰性气体，降低晶圆颗粒污染风险，提升良率。金属 3D 打印增材制造项目，使用其质量流量控制器调控保护氩气，稳定舱内气氛，避免金属粉末高温氧化，保障打印零件金相质量。

生物制药与发酵领域，国内高校与生物企业台式生物反应器配套 FLEXI-FLOW 质量流量控制器，精准控制空气、CO₂、氧气通入发酵罐，用于细胞培养、藻类培植。英国 Ossett 啤酒酿造厂采用布琅轲锶特流量计，在发酵工序定量添加氧气，精准控制含氧量，稳定啤酒风味、延长保质期；冰淇淋生产线利用其流量仪表精准控制空气曝气比例，控制冰淇淋蓬松度，实现批次品质一致。精细化工催化剂研发平台，采用 Bronkhorst 科里奥利液体质量流量计，实现微量液体试剂精准进料，不受温度压力波动干扰。

布琅轲锶特流量仪表优势在于，热式 MFC 响应速度快、重复性高，支持多种数字通讯协议；科里奥利流量计直接测量质量流量，无需温压补偿，适合液体、高压液化介质；仪表支持定制量程、材质，哈氏合金、不锈钢多种润湿材质适配腐蚀性介质。品牌配套上位机软件，支持多通道集中监控、数据记录、报警输出，便于工艺溯源。

国内双碳战略推动绿氢、电转气、生物制造、半导体产业快速扩张，小流量精密气体控制需求持续上升。布琅轲锶特依托全球应用工程经验，国内技术团队提供选型、标定、工艺调试支持，持续服务国内科研院所与工业客户。未来将持续拓展绿氢、碳捕集、生物合成赛道，为客户提供从实验室研发到工业化放大全流程精密流量控制解决方案。