MKS 万机仪器中标 12 英寸晶圆项目残余气体分析仪采购

近期，美国 MKS Instruments（万机仪器）成功中标国内燕东科技 12 英寸铜工艺产线设备采购项目，中标标的为定制化残余气体分析仪 RGA，用于半导体晶圆制造真空腔体气氛检测、杂质气体分析，实时监测腔体内部微量污染物，保障薄膜沉积、刻蚀工艺稳定性。本次中标是 MKS 在国内 12 寸成熟制程产线的又一重要订单，同时 MKS 臭氧发生器、激光钻孔设备在 PCB、半导体配套项目持续中标，持续深化国内半导体产业链布局。

半导体制造真空环境管控直接决定晶圆良率，刻蚀、沉积腔体内部微量水汽、碳氢、金属杂质会造成晶圆缺陷。残余气体分析仪 RGA 可对真空腔内气体组分做定性定量分析，检测 ppb 级别微量杂质，用于腔体检漏、工艺配方优化、设备预防性维护。本次招标针对 12 英寸铜互连工艺定制开发，需要适配高真空工况，耐受工艺副产物腐蚀，具备快速扫描、长期稳定检测能力。经过多轮技术答辩、设备性能对比、可靠性评估，MKS 残余气体分析仪方案中标。MKS RGA 依托质谱分析技术，响应迅速，支持集成到产线自动化控制系统，实时上传气体组分数据，实现异常提前预警，降低批量晶圆报废风险。

除半导体真空分析设备外，MKS 旗下 ESI 激光钻孔系统在国内 HDI 柔性 PCB 项目多次斩获批量订单。5G 高频 FPC 电路板制造环节，MKS CapStone 激光钻孔系统实现微小盲孔高精度加工，国内头部 PCB 企业一次性采购数十台设备，解决高阶 HDI 板微小孔径加工难题，支撑通信 PCB 产能扩张。绵阳半导体配套项目，MKS 臭氧发生器成功中标，臭氧用于晶圆表面清洗，属于半导体湿法清洗核心工艺装备。MKS 安美特化学品与配套设备在广州基地扩建，加码国内半导体材料市场。

MKS Instruments 是先进工艺解决方案龙头，业务覆盖真空测量、气体分析、激光加工、等离子体控制、特种化学品，产品广泛用于半导体、PCB、光学、新能源、生命科学。半导体工厂的真空规、压力控制器、RGA 残余气体分析仪、等离子体电源是其核心产品线，贯穿晶圆刻蚀、沉积、清洗全工艺流程。MKS 设备的优势在于高稳定性、高集成度，支持工厂 SECS/GEM 通讯协议，无缝对接晶圆厂 MES 系统，具备的故障诊断、数据溯源能力，适配 24 小时不间断量产工况。

本次中标项目将由 MKS 中国团队负责设备交付、现场安装调试、校准与年度维保。半导体产线设备对交付周期、现场技术支持要求严苛，MKS 依托国内技术服务中心，缩短售后响应时间。当前国内成熟制程、特色工艺产线持续扩产，真空检测、气体分析设备需求稳步提升。MKS 持续深耕国内半导体市场，积极参与国内各大晶圆厂、PCB 厂商招标项目，持续提供真空测控、气体分析、激光加工一体化方案，助力国内半导体产线良率提升与工艺迭代。