紫外激光全新升级｜美国 MKS Talon APX 系列紫外激光器重磅上市

美国 MKS Instruments 于 2026 年初正式发布 Spectra-Physics® Talon APX 系列紫外纳秒激光器，瞄准半导体微加工、精密钻孔、光伏划片、柔性材料加工市场，以行业紫外寿命、更长维护周期，降低精密加工设备的运维成本，进一步拓展 MKS 在激光源、光学测量、真空工艺控制领域的产品版图，为下一代先进制造工艺提供核心光源解决方案MKS。

Talon APX 新品功率区间覆盖 15W 至 30W，继承成熟 Talon 平台经过市场验证的稳定架构，重点优化紫外增益模块使用寿命，延长激光器保养间隔，减少设备停机维护时间，直接提升产线稼动率。在精密加工场景，激光器的输出稳定性、光斑质量、长期漂移特性直接决定加工良率。Talon APX 输出光束质量优异，脉冲能量稳定性高，在长时间连续加工条件下，光斑参数波动极小，适合半导体载板、PCB 微小孔加工、薄膜材料精密刻蚀等对一致性要求严苛的工艺。紧凑化机身设计，便于集成到各类激光加工工作站，降低设备整机空间布局难度。

同期 MKS 还推出多款光学测量新品，Ophir® SP403P 短波红外光束轮廓仪面向光通信、工业激光与国防领域，探测有效面积可达 12.3mm×12.3mm，像素 4512×4512，支持 1440–1650nm 波段，可直接测量大尺寸 SWIR 光束，无需裁切光束，解决传统短波红外轮廓仪探测面小、价格昂贵且受出口管控限制的痛点，为光纤激光器研发、光学系统调试提供高精度光束诊断方案。Ophir 70K-W 超高功率水冷激光功率传感器可覆盖 2kW~70kW 功率测量范围，适配高功率光纤切割、定向能量系统测试，内置联锁保护，背反射小于 0.5%，保障大功率激光测试系统安全运行MKS。

作为真空与工艺控制，MKS 产品矩阵横跨质量流量控制器 MFC、真空计、激光光源、光学测量仪器。本次新品发布聚焦两大方向：一是面向微加工的紫外光源升级，满足半导体、新能源精密制造需求；二是拓展红外光学测量产品线，补齐光通信、激光测试的检测短板。半导体、光伏、先进材料制造工艺持续迭代，对激光加工精度、设备连续运行能力提出更高标准。Talon APX 系列新品通过提升光源寿命，平衡加工性能与总拥有成本，帮助设备厂商与终端工厂降低停机损失。

MKS 持续打通工艺控制、激光发生、光学检测全链条，从气体流量、真空环境控制到激光加工与光束检测，形成一体化工艺解决方案。本次系列新品落地，将进一步助力先进制造企业攻克微纳加工难题，推动激光精密加工技术在更多产业落地应用。