MKS 新品矩阵发布：光子测量、超快激光与真空工艺装备全新迭代

美国 MKS Instruments 在 Photonics West 2026 展会集中发布多款光子学、激光测量、超快放大光源新品，覆盖半导体、量子光学、光纤通信、生物医疗激光加工等前沿赛道，依托旗下 Spectra-Physics、Newport、Ophir 多品牌技术沉淀，推出光束轮廓仪、台式光功率计、超快放大器等新一代产品，进一步补齐精密光学检测与高能激光工艺装备产品线，面向科研实验室与工业量产场景提供一体化解决方案。

本次重磅新品包含 Ophir SP403P 短波红外光束轮廓仪，专门面向光纤通信、工业激光加工、航空航天短波红外检测场景。该产品感光有效探测面积达 12.3mm×12.3mm，像素 4512×4512，像素间距 2.74μm，适用波长 1440–1650nm，可直接采集大尺寸短波红外光束，无需裁切光斑，解决传统 SWIR 探测器探测面积不足、成本高昂的痛点。在光纤激光器工艺校准、光通信器件检测中，可重复、高精度采集光束形貌参数，帮助研发人员与产线工程师评估光束质量，降低光学检测设备采购成本。

Newport 1940-R 与 2940-R 高精度台式光功率计同步上市。1940-R 支持单路传感器采集，2940-R 可同时接入两路传感器，实现同步对比、比值测量，适配光电二极管、热电堆、积分球多种传感器探头，覆盖连续光、脉冲调制、高速光源测量。产品搭载 7 英寸高清触控屏幕，搭配实体旋钮按键，硬件采用低噪声电路设计，内置高级数字滤波算法，测量稳定可溯源至 NIST 标准，适用于光通信器件对准、实验室科研、激光产线批量检测，满足高速量产环境下快速校准测量需求。

Spectra-Physics Solstice APX 新一代超快放大器是本次发布会另一核心亮点，在原有成熟超快放大器架构上升级光束指向稳定性、脉冲间稳定性，提升长期连续运行可靠性。整机一体化单箱设计，可承受实验室 ±10℃温度波动，在精密计量、前沿基础科研、微纳加工场景发挥作用。相比前代产品，脉冲抖动更小，光束质量一致性更高，降低长期运维难度，满足量子光学、生物光子学等前沿科研项目对超短脉冲激光的严苛指标要求。

同时 MKS 推出 Talon Mark UV 系列紫外纳秒激光器 UV15、UV20，平均功率分别大于 15W、20W，单脉冲能量最高 400μJ，搭载首脉冲抑制、按需脉冲 POD 功能。设备体积紧凑，长期运行维护成本低，适用于食品包装、塑料、半导体元器件高速打码与精密标记，在非金属材料表面形成高对比度标识，助力消费品、电子行业高速产线的溯源标识加工。

整套新品矩阵覆盖激光光源、光束诊断、光学功率检测全链条。MKS 打通从光源产生到光束检测闭环，面向 AI 光学、量子技术、生物光子学、半导体制造前沿市场。除光子新品外，MKS 持续迭代半导体 MFC、电容薄膜规真空测量产品，兼顾芯片制造与光学科研两大核心市场。MKS 持续通过新品迭代，为精密制造与前沿科研提供核心工艺装备，助力下一代光子技术产业化落地。