【简介】MKS美国-流量控制器-常闭电磁阀可选
断电状态下自动关断气路，具备故障安全保护逻辑。规避意外供气泄漏风险，适配安全优先的气路设计，用于半导体、真空镀膜精密供气工艺

MKS美国-流量控制器-常闭电磁阀可选

MKS美国-流量控制器-常闭电磁阀可选

MKS 数字型气体质量流量控制器支持选配常闭电磁阀，断电状态下阀体自动关断气路，内置故障安全保护逻辑，可规避失电后气体意外泄漏风险，广泛应用于半导体、真空镀膜、光伏薄膜、精密气相合成等高安全等级供气工艺，为特种危险气路提供可靠的安全防护方案。

流量控制器的电磁阀分为常开与常闭两种构型。常开阀在断电、通讯中断、设备故障时阀门保持开启，一旦出现供电异常，工艺气会不受控持续流入腔体，对于可燃、腐蚀性、自燃性特种工艺气体，极易引发腔体污染、安全事故与批量产品报废。MKS 这款 MFC 支持选型配置常闭电磁阀，依靠弹簧预紧结构，无供电时阀门保持关闭；只有收到工艺开启指令并正常供电，阀门才会打开并调节流量。当遇到突发断电、通讯断线、设备硬件故障等异常场景，阀体自动闭合切断气路，实现故障安全关断，从源头降低气体泄漏风险，尤其适配危险特种气体气路。

产品搭载高性能传感单元与高速数字处理芯片，常闭阀版本不影响原有流量闭环控制性能，微量供气至满量程区间均可维持精准流量调节。阀体可选全金属密封结构，泄漏率低，流道洁净，兼容惰性气体、反应气体以及各类腐蚀性特种工艺气体，满足半导体等高洁净工艺标准。

通讯接口配置丰富，支持模拟信号、RS485、EtherCAT 等主流工业总线，可无缝接入自动化控制系统，远程控制阀门开关、读取实时流量与阀体诊断状态。每台 MKS 流量控制器出厂完成阀体密封性与关断性能测试，保障断电关断的可靠性。整机结构经过抗振优化，适配设备狭小舱内安装，运维周期更长。

在半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积、光学涂层、材料科研等场景，大量工艺使用具有危险性的特种气体，供气系统安全设计至关重要。MKS 凭借可选常闭电磁阀的故障安全设计，在突发断电与设备故障时自动切断气路，防止气体不受控流入工艺腔，保护设备腔体与产品，规避安全隐患。依靠失电自动关断的安全特性，该流量控制器成为使用危险工艺气体、对气路安全等级要求严苛的精密供气场景优选元器件。