【简介】MKS美国-流量控制器-振动耐受固态传感
采用 MEMS 一体化固态传感芯片，无易损细流丝。设备振动工况下流量读数稳定，降低机械振动带来测量漂移，适配半导体、镀膜设备舱体振动环境

MKS美国-流量控制器-振动耐受固态传感

MKS美国-流量控制器-振动耐受固态传感

MKS 数字型气体质量流量控制器搭载振动耐受固态传感，采用 MEMS 一体化固态传感芯片，摒弃传统易损细流丝结构，在设备舱存在机械振动工况下流量读数依旧稳定，降低振动带来的测量漂移，广泛用于半导体、真空镀膜、光伏薄膜、精密气相合成等存在设备振动的精密供气工艺，提升设备在复杂机械环境下的测量可靠性。

传统热式流量传感器多采用纤细金属丝作为感温元件，这类结构十分脆弱。当设备泵体、传动机构运行产生持续振动时，细流丝容易发生疲劳变形、共振偏移，直接改变传感器热场分布，造成零点漂移与流量读数跳变。长期振动下甚至会发生断丝失效，设备必须停机更换 MFC，影响产线稼动率。MKS 这款 MFC 使用一体化 MEMS 固态传感芯片，无纤细悬空丝结构，抗共振、抗机械冲击能力更强，可在设备固有振动环境下稳定采集信号，减少振动引发的测量漂移。

产品搭载高性能固态传感单元与高速数字处理芯片，固态传感在微流量至满量程区间均可稳定发挥抗振性能，不会因机械振动影响流量闭环调节精度。阀体可选全金属密封结构，泄漏率低，流道洁净，兼容惰性气体、反应气体以及各类腐蚀性特种工艺气体，满足半导体等高洁净工艺标准。

通讯接口配置丰富，支持模拟信号、RS485、EtherCAT 等主流工业总线，可无缝接入自动化控制系统，远程读取实时流量、设备状态，便于工程师监测振动环境下流量稳定性。每台 MKS 流量控制器出厂完成振动可靠性测试，传感芯片性能经过验证，保障长期运行测量稳定。整机结构经过抗振优化，适配设备狭小舱内安装，运维周期更长。

在半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积、光学涂层、材料科研等场景，真空泵、运动平台工作会持续带来舱体振动。MKS 凭借振动耐受固态传感，降低机械振动带来的流量漂移，维持工艺气体配比稳定，减少传感器损坏概率，降低备件更换频次，缩小批次间工艺差异，提升成品良率。依靠高可靠固态传感抗振设计，该流量控制器为存在持续机械振动的精密供气场景的优选元器件。