【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐化学
采用 CMOSens® MEMS 热式技术，可选惰性触液材质，耐受酸碱与有机溶剂。直通无阻挡流道，内置温度补偿，I²C 输出，适配各类腐蚀性试剂

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐化学

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐化学

盛思锐（SENSIRION）耐化学液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，可选用 PTFE、PEEK、玻璃等惰性触液材料，具备优异耐化学腐蚀能力，能够耐受多种酸碱溶液与有机溶剂，适配腐蚀性化学试剂的微流量测量场景。

传感器采用介质隔离非侵入式测量结构，MEMS 核心芯片置于流道外侧，不与流体直接接触，仅触液通路接触化学介质，保护传感芯体免受侵蚀。流道为直通无阻挡设计，无叶轮、转子等活动部件，不存在磨损卡堵风险，也不会产生碎屑污染试剂。产品出厂完成多点流量标定，内置片上温度自补偿，自动抵消环境与介质温度波动带来的测量漂移，保障在化学试剂工况下流量测量稳定。传感器毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断功能，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液组件多种材质可选，耐酸碱、耐溶剂，兼容水溶液、缓冲液、各类酸碱试剂、有机溶剂、半导体湿法化学品等介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，适配化学分析仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的数字流量信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成便捷，降低整机流体回路设计难度，缩短设备研发量产周期。

广泛应用于化学分析仪、半导体精密供液、色谱微量分液系统、实验室微流控装置、体外诊断试剂输送等场景。耐化学材质可抵御腐蚀性试剂长期冲刷，减少材料溶胀、腐蚀失效，延长传感器使用寿命，降低设备维护更换成本。

在化学分析与半导体设备开发中，强腐蚀性试剂很容易侵蚀传感器流道，造成元件损坏、样品污染。盛思锐这款耐化学液体流量传感器，将惰性触液材质、无阻挡流道与 MEMS 介质隔离技术相结合，兼顾耐腐蚀、高精度、低死体积等多重优势。凭借的化学介质适配能力，被化学分析、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为腐蚀性试剂微流体系统提供稳定可靠的流量监测解决方案。