【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-宽量程
依托 CMOSens® MEMS 热式技术，可覆盖从纳升到较高流量区间。内置标定与温度补偿，无活动件，I²C 输出，适配流量跨度大的微流体系统。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-宽量程

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-宽量程

盛思锐（SENSIRION）宽量程液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，单只传感器可覆盖从纳升级微小流量到中高流量区间，宽测量范围设计，可应对同体回路内流量大幅度变化场景，简化设备传感器选型，为流量跨度大的精密微流体系统提供一体化检测方案。

常规流量传感器量程范围窄，高低流量段需选用不同型号，增加设计成本。盛思锐 MEMS 传感单元具备高灵敏度，芯片内置信号线性化处理与多点分段标定，搭配片上温度自补偿，自动抵消温度波动带来的测量漂移，在全量程区间内均可维持稳定测量精度。传感器采用介质隔离非侵入式架构，传感芯片布置于流道外壁，搭配平滑直通无阻挡流道，无叶轮转子等活动部件，消除机械磨损、堵塞风险。传感器毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断功能，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液部件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，部分版本支持低吸附与生物兼容，兼容水溶液、生化试剂、有机溶剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，适配仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的数字流量信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成便捷，减少整机多传感器搭配调试的工作量，缩短设备研发量产周期。

广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、半导体精密供液、实验室微流控装置、细胞培养流体循环等场景。宽量程特性支持设备在微量取样与大流量冲洗之间切换，无需更换传感器，简化流体回路设计。

精密流体设备研发中，流量动态变化大时，单量程传感器无法兼顾高低流速测量，需要多传感器组合，提升硬件复杂度。盛思锐这款宽量程液体流量传感器，依靠高灵敏 MEMS 芯片与分段标定算法，兼顾低噪声、低漂移、耐腐蚀等多重优势，单传感器覆盖更广流量区间。凭借优异宽量程测量能力，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为流量变化跨度大的微流体系统提供可靠流量监测解决方案。