【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-承压强
基于 CMOSens® MEMS 热式技术，流道结构坚固，可承受较高流体压力。无活动件，内置温度补偿，I²C 输出，适配高压微流体回路测量。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-承压强

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-承压强

盛思锐（SENSIRION）高承压液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，采用加固型一体化流道结构设计，壳体与流道具备优秀耐压能力，能够承受流体回路内较高工作压力，满足高压微流体管路的流量实时检测需求。

传感器采用介质隔离非侵入式检测架构，MEMS 传感芯片布置于流道外壁，不侵入流体通道，核心传感单元不受流体压力直接冲击。直通无阻挡流道内部无叶轮、转子等活动部件，不存在高压下机械形变、磨损卡堵问题。产品出厂完成多点流量标定，内置片上温度自补偿，自动抵消温度波动带来的测量漂移，在压力变化工况下依然维持稳定计量精度。传感器具备毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断功能，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液部件可选 PTFE、PEEK、玻璃等高强度惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、生化试剂、有机溶剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，流道与外壳一体化加固，可抵御高压带来的形变风险。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的数字流量信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，管路装配牢固，降低高压回路泄漏风险，缩短设备研发量产周期。

广泛应用于高压液相色谱、半导体高压微量供液、高压微流控系统、化学加压分液装置、工业小型高压流体监测等场景。高承压结构保证在高压工况下流道不变形，密封可靠，避免压力变化改变流道截面而引入流量测量误差。

在精密流体设备开发中，高压管路对传感器机械强度要求严苛，普通传感器容易出现流道变形、接口渗漏，造成测量失真。盛思锐这款高承压液体流量传感器，依靠加固流道结构搭配 MEMS 非侵入测量方案，兼顾耐压、耐腐蚀、高精度、低残留等优势，压力波动时计量稳定。凭借可靠的高压耐受性能，被色谱、半导体、化学分析设备厂商广泛选用，为高压微流体系统提供稳定可靠的流量监测解决方案。