【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐溶剂
依托 CMOSens® MEMS 热式技术，可选 PTFE/PEEK 惰性触液材质，抵御有机溶剂侵蚀。直通无阻挡流道，内置温度补偿，I²C 输出，适配化学试剂微流量监测。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐溶剂

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-耐溶剂

盛思锐（SENSIRION）耐溶剂液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，触液部位可选用 PTFE、PEEK 等惰性高分子材料，具备出色耐溶剂性能，可抵御多种有机溶剂侵蚀，适合有机溶剂输送、化学微量分液等微流体测量场景。

传感器采用介质隔离非侵入式检测架构，MEMS 传感芯片布置在流道外侧，不直接接触流体，仅流道内壁与溶剂接触，保护核心芯片不受化学介质损伤。流道为平滑直通无阻挡结构，内部无叶轮、转子等活动构件，不会出现机械磨损、卡堵问题，同时减少溶剂残留吸附。产品出厂完成多点流量标定，搭载片上温度自补偿算法，实时修正温度波动带来的测量漂移，保障在有机溶剂工况下流量计量稳定。传感器具备毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时支持气泡、断流状态诊断，便于设备搭建流体闭环控制与故障预警。

触液材质耐溶剂溶胀、抗化学侵蚀，兼容醇类、酮类、酯类等多种有机溶剂，也可适配水溶液、缓冲试剂、化学混合溶液。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，满足化学分析仪器小型化需求。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的数字流量信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成便捷，降低整机管路与硬件调试难度，缩短设备研发量产周期。

广泛应用于液相色谱微量分液、实验室化学微流控装置、化工微量试剂输送、半导体溶剂供液、化学分析仪器等场景。耐溶剂材质不易被有机溶剂溶胀、溶解，避免材料析出污染样品，长期使用流道尺寸保持稳定，保证测量精度持续可靠。

在化学分析设备研发中，有机溶剂极易腐蚀普通塑料，造成流道变形、材料析出，影响检测结果。盛思锐这款耐溶剂液体流量传感器，将惰性耐溶剂材质、无阻挡直通流道和 MEMS 介质隔离技术相结合，兼顾高精度、低残留、不易堵塞等优势。凭借优异有机溶剂耐受能力，被色谱、化学分析、半导体设备厂商广泛选用，为有机试剂微流体系统提供稳定可靠的流量监测方案。