【简介】MALEMA马莱玛-流量计-两相流可用
依托超声时差与 DSP 算法，可稳定测量气液混合流体，无活动件、直通流道，适合半导体带气泡药液在线监测。

MALEMA马莱玛-流量计-两相流可用

MALEMA马莱玛-流量计-两相流可用

MALEMA 马莱玛时差式超声流量计支持两相流工况测量，依托超声时差检测原理搭配自研 DSP 数字信号处理算法，可用于气液混合的两相流体监测，广泛应用于半导体湿法工艺、CMP 抛光、精细化工等容易产生气液共存的药液管路。

在高纯药液输送过程中，泄压、升温、加注、管路回流等情况都会引入气泡，形成气液两相流。传统叶轮、涡轮类流量计遇到两相流极易出现卡滞、跳数、测量失效，甚至因为气泡冲击造成部件磨损，污染药液。马莱玛无活动件的超声架构不存在叶轮、转轴等运动零件，不会被气泡冲击卡停，同时算法可以区分有效流体信号与气泡噪声，在一定含气率的两相流条件下维持流量监测。

仪表采用直通无死区流道，流道平滑通畅，减少气泡聚集形成大气团，降低两相流集中扰动风险。接液材质可选高纯 PFA、PEEK，耐强腐蚀，离子微粒析出低，适配蚀刻液、清洗液、抛光浆料等介质，兼顾两相流适应性与超高纯洁净要求。

仪表结构紧凑，安装灵活，对前后直管段要求低，便于在化学供给柜、湿法机台狭小空间内集成。支持 4-20mA、脉冲、Modbus 通讯输出，流量信号上传 PLC 与上位系统，实现实时监控、定量给药和联锁报警，出厂经过模拟工况标定，保障测量重复性。

两相流适配能力，解决了湿法产线气泡干扰的痛点，不用额外增加复杂的排气装置，减少管路改造投入，降低因气泡导致的流量失控、工艺批次异常。需要说明的是，该仪表适用于分散气泡的低含气两相流场景，不适用于高含气段塞流。在药液循环、溢流回流、供液前端等容易夹带气泡的工况，MALEMA 马莱玛流量计可以在两相流环境下稳定工作，为高纯流体工艺提供可靠的流量监测方案。