【简介】MALEMA马莱玛-流量计-无离子析出
严格管控离子析出，无金属、无活动件，直通无死区流道，规避金属离子污染，适配半导体超高纯药液监测。

MALEMA马莱玛-流量计-无离子析出

MALEMA马莱玛-流量计-无离子析出

MALEMA 马莱玛流量计选用超高纯 PFA 接液材质，经过特殊纯化处理，严格控制离子析出，无金属接触流体，是半导体超高纯药液、湿法制程、CMP 抛光回路的优选流量测控仪表。

半导体芯片制造对药液中的金属离子含量管控极其严苛，微量金属离子就会造成晶圆器件漏电、良率下降。很多仪表内部含有金属部件、普通塑料或添加助剂，长期浸泡在腐蚀药液中会缓慢溶出钠、钾、铁、铝等金属离子，直接污染高纯药液。马莱玛流量计流体接触部分为纯化后的 PFA 一体成型流道，全程无金属接触介质，原材料经过离子析出专项管控，溶出水平极低。

仪表延续品牌经典无活动件超声时差架构，直通无死区流道，不存在叶轮、转轴等运动部件，不会因为摩擦产生微粒。流道内壁光滑，不易挂壁积料，药液置换冲洗干净，进一步降低杂质累积风险。材质化学惰性优异，耐各类强酸、强碱与氧化剂，适配超纯水、蚀刻液、清洗液等敏感药液。搭载 DSP 数字信号处理算法，具备优秀抗气泡能力，在含气泡工况下测量稳定，重复性好。

仪表结构紧凑，安装便捷，可兼容行业标准 PFA 管路，对前后直管段要求宽松，适合布置在化学供给柜、湿法机台狭小空间。电气接口标准化，支持 4-20mA、脉冲、Modbus 通讯，流量数据实时上传 PLC 与上位系统，支持定量输送与工艺联锁，出厂附带材质验证报告，方便用户完成洁净验证。

优异的离子析出控制能力，满足半导体超高纯流体的管控标准，规避金属离子污染带来的晶圆报废风险。在芯片制造的药液输送、循环供给、配液工序中，MALEMA 马莱玛流量计从材质源头把控溶出风险，兼顾精准测控与超高纯洁净要求，为半导体超高纯流体工艺提供可靠的流量监测方案。