【简介】MALEMA马莱玛-流量计-无颗粒析出
严格管控颗粒析出，无活动件无摩擦磨损，不产生微粒污染，适配半导体晶圆制程超高纯药液在线监测

MALEMA马莱玛-流量计-无颗粒析出

MALEMA马莱玛-流量计-无颗粒析出

MALEMA 马莱玛流量计采用高纯 PFA 一体成型流道，严格控制颗粒析出，内部无活动摩擦部件，不会产生磨损微粒，是半导体晶圆制造超高纯药液管路的理想流量测控设备。

半导体制造对流体中的微颗粒非常敏感，微小颗粒附着在晶圆表面，极易造成短路、刻蚀缺陷，直接影响良率。传统叶轮、涡轮式流量计依靠流体驱动转动，部件之间持续摩擦，容易剥落产生微粒；部分仪表流道内壁粗糙、材质不纯，在药液冲刷下也会析出微小颗粒，带来污染隐患。马莱玛采用超声时差测量原理，流道内部无叶轮、转轴等运动件，不存在摩擦生粒的源头。

接液流道为纯化级高纯 PFA 一体成型，内壁光滑致密，生产装配在洁净环境完成，原材料与成品都经过颗粒管控验证，在药液长期冲刷、温度压力正常波动条件下，微粒析出可控。流道直通无死区，不易残留药液、滋生沉积物，减少二次颗粒生成。同时搭载 DSP 数字信号处理算法，具备良好抗气泡能力，在带分散气泡的湿法药液工况下，测量稳定、重复性好。

仪表结构紧凑，安装简便，兼容标准 PFA 管路，对前后直管段要求低，适合化学供给柜、湿法机台狭小空间布置。支持 4-20mA、脉冲、Modbus 等多种信号输出，流量数据实时上传 PLC 与上位系统，实现流量监控、定量投加与工艺联锁，出厂附带洁净相关检测资料，便于用户完成制程验证。

良好的颗粒控制能力，从源头消除仪表带来的微粒污染风险，降低晶圆颗粒缺陷概率，减少过滤耗材负荷。在光刻、刻蚀、清洗等对颗粒管控严苛的超高纯工序中，MALEMA 马莱玛流量计兼顾精准测量与低微粒释放特性，为半导体超高纯流体工艺提供稳定可靠的流量监测方案。