【简介】Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-全金属密封
无橡胶件，耐腐蚀性工艺气体，低放气低颗粒，闭环 PID 精准控压，适配半导体真空与腐蚀性气体制程。

Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-全金属密封

Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-全金属密封

Brooks 布鲁克斯密封压力控制器搭载全金属密封结构，摒弃橡胶、PTFE 等高分子密封件，可耐受卤素、腐蚀性前驱体等严苛工艺介质，低放气、低颗粒析出，适配半导体刻蚀、薄膜沉积、CVD 等腐蚀性气体真空工艺，保障气路长期气密性。

半导体腐蚀类工艺中，含氟、含氯等强腐蚀气体容易侵蚀普通弹性密封件。高分子密封圈长期使用会老化、释放挥发物，产生颗粒污染腔体，同时密封失效会引发气体泄漏，造成压力漂移，降低晶圆良率，增加设备维护频次。全金属密封依靠金属面硬密封实现密封效果，不受腐蚀性气体侵蚀，高温工况下也不会老化放气。

控制器采用闭环 PID 压力控制，响应速度快，可快速补偿流量波动，维持腔体压力稳定。流道内壁电解抛光处理，表面光洁度高，减少工艺副产物附着，降低颗粒生成风险。整体阀体气密性优异，泄漏率极低，杜绝外界空气渗入或工艺气体外泄干扰压力测量。

产品支持 0~10VDC、4-20mA 模拟信号，RS485、DeviceNet 等数字通讯，可直接接入 PLC 与气体柜控制系统。出厂多点标定，控压精度高，重复性好，长期运行零点漂移小，减少现场校准工作。可实现上下游双向压力控制，适配多样化气路布局。

全金属硬密封消除高分子密封件老化污染风险，拓宽腐蚀介质适用范围。凭借全金属密封流道、闭环高精度稳压、低颗粒洁净设计、多通讯接口适配，Brooks 布鲁克斯密封压力控制器是半导体腐蚀性气体管路压力控制的核心精密设备。