BROOKS 布鲁克斯-真空计-皮拉尼热传感 依托气体热传导效应检测低压区间压力。可与电容膜片组合，拓展超宽量程，响应迅速，用于粗真空至中真空段压力监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-电容膜片测压 压力变化使合金膜片产生微形变，转化为电容差值信号。测量与气体种类无关，搭配 Mark-IV 传感头，精度稳定，适合半导体腐蚀真空工艺。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-智能触控校零 内置逻辑校验，仅在满足真空与恒温条件方可启动，规避误操作。支持本地按键与远程校零，快速重置零点，适配半导体真空维护作业。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-零点漂移补偿 实时监测传感状态，动态修正零点偏移。抵消温度、污染带来的读数漂移，维持长期测量精度，减少现场校准频次，适配半导体严苛真空工况。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-多阶数字标定 在全量程多点校准，内置修正曲线，补偿非线性误差。配合温度算法校正，提升宽量程测量精度，出厂标定稳定，减少现场校准工作量。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-数字信号架构 传感信号就地数字化处理，降噪抗干扰，降低传输误差。支持 RS485 等数字通讯，参数可组态，适配真空系统 PLC 集成，保障压力数据稳定传输。