【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空计-智能触控校零
内置逻辑校验，仅在满足真空与恒温条件方可启动，规避误操作。支持本地按键与远程校零，快速重置零点，适配半导体真空维护作业。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-智能触控校零

BROOKS 布鲁克斯-真空计-智能触控校零

BROOKS 布鲁克斯 XacTorr 系列真空计搭载 Intelli‑Touch 智能触控校零功能，是配套 Mark‑IV 传感头与双区恒温系统的安全校零机制，专为半导体真空工艺维护设计，解决传统电容真空计人工校零易误触发、工况不达标强行校零带来精度失效的痛点。

传统真空计校零仅依靠人工触发按键，缺少工况判断逻辑，若腔体未抽到本底真空、传感头温度尚未稳定时执行校零，会直接写入错误零点基准，造成全量程测量偏差，严重影响工艺良率。Intelli‑Touch 内置多重联锁校验逻辑，只有传感头双区恒温达到设定温度、腔体压力满足本底真空条件时，校零指令才会被允许执行；温度不达标或腔体压力过高，系统直接拒绝校零操作，从根源杜绝误校风险。

该功能支持两种操作方式：本地仪表端触控按键校零，也可通过 RS485 数字总线远程下发校零指令，适配自动化产线运维模式。校零过程由 DSP 实时采集传感信号，完成零点采样、计算并更新零点补偿参数，新基准自动存入仪表非易失性存储，断电后参数不会丢失。每次校零动作都会生成记录，保存校零时间、工况参数，便于半导体工厂质量追溯与设备台账管理。

校零完成后，仪表自动重新启用零点漂移补偿算法，与多阶数字标定曲线协同工作，持续维持全量程测量精度。系统自带诊断端口，可搭配 BEST 调试软件读取校零历史、传感头状态、温度曲线，运维人员能够评估传感头污染程度，开展预防性维护，不必频繁拆卸仪表。

在半导体刻蚀、薄膜沉积等腐蚀性等离子工艺中，真空计长期运行会缓慢产生零点偏移，需要定期校零维护。布鲁克斯 Intelli‑Touch 智能触控校零，依靠工况联锁保护、本地 / 远程双操作模式、校零记录溯源能力，简化真空仪表维护流程，规避人为操作失误，保障真空压力测量基准准确可靠，为精密真空工艺稳定运行提供安全可控的校零方案。