【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空计-皮拉尼热传感
依托气体热传导效应检测低压区间压力。可与电容膜片组合，拓展超宽量程，响应迅速，用于粗真空至中真空段压力监测。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-皮拉尼热传感

BROOKS 布鲁克斯-真空计-皮拉尼热传感

BROOKS 布鲁克斯宽量程真空计集成皮拉尼热传感单元，常与电容膜片测压结构复合使用，实现跨多个数量级的真空压力测量，补足电容薄膜规在高真空低压段的测量短板，是一体化超宽量程真空检测方案的重要组成部分。

皮拉尼热传感原理基于气体热传导特性，传感内部设有加热丝与测温元件。加热丝维持恒定温度，气体分子碰撞带走热量，气体分子密度随压力变化，带走的热量也随之改变。测温元件捕捉温度变化，转化为电信号，经 DSP 运算换算成压力值。压力越高，气体分子越多，散热越强；压力越低，散热越弱，以此实现粗真空到中真空区间压力检测。

该传感单元微型化集成设计，响应速度快，对压力动态变化感知灵敏，可实时监测腔体抽气、泄压过程。在低压区间，皮拉尼热传感可有效延伸测量下限，和电容膜片测压形成量程互补：电容膜片负责中高压段高精度、气体无关测量，皮拉尼单元负责低压段检测，单台真空计即可覆盖从大气压至高真空的超宽量程，替代传统多支真空规组合方案，简化真空管路布局。

皮拉尼热传感经过多阶数字标定，内置气体特性修正模型，降低不同工艺气体带来的测量偏差。传感芯体做抗污染防护，搭配数字信号架构，传感信号就地滤波处理，减少电磁干扰，保障信号稳定输出。系统内置诊断功能，持续监测加热丝工作状态，一旦出现老化或异常，及时输出告警信号，便于预防性维护。

需要注意，皮拉尼热传感读数天然受气体种类影响，因此布鲁克斯采用复合测量逻辑：系统自动根据压力区间切换或融合两路传感数据，高压段优先采用气体无关的电容膜片信号，低压段启用皮拉尼传感，并结合算法补偿气体带来的误差，兼顾量程宽度与测量可靠性。

在半导体锁气室、真空镀膜、热处理、冻干设备等场景，布鲁克斯皮拉尼热传感与电容膜片传感协同工作，以复合传感架构实现超宽范围压力监测，减少仪表数量，节约安装成本，为各类真空工艺提供连续、完整的全周期压力数据。