【简介】BROOKS 布鲁克斯-真空计-超宽测量量程
依托 MEMS 传感技术，实现 9 个数量级超宽量程测量，零点漂移补偿，测量稳定。单台替代多支真空规，支持数字 / 模拟输出，适配半导体与工业真空工艺。

BROOKS 布鲁克斯-真空计-超宽测量量程

BROOKS 布鲁克斯-真空计-超宽测量量程

BROOKS 布鲁克斯 VersaTorr 系列真空计，是一款集成多传感原理的一体化超宽量程真空测量变送器，凭借 MEMS 微机电传感技术，实现 9 个数量级压力检测，单台设备即可覆盖从高真空到大气压的全区间测量，替代传统系统中多支真空规组合方案，大幅简化真空回路设计，节约安装空间与采购成本Brooks Ins...。

该真空计融合皮拉尼热传导、电容薄膜与压电复合传感架构，解决传统皮拉尼真空计气体依赖性缺陷。在 5E-3~1333mbar 区间实现与气体种类无关的精准测量，低压段依托热损耗原理延伸测量下限，搭配电容膜片自动零点补偿算法，抑制长期零点漂移，无需频繁人工校准，保障全量程稳定输出，低压段测量精度可达 0.5%，重复性优异Brooks Ins...。

硬件搭载高性能数字信号处理单元，内置温度诊断传感器，实时监测工况温度变化，对测量数据做温度补偿，适配复杂工艺环境。信号输出支持 0–10V 模拟量、RS232、RS485 数字通讯，可直接对接 PLC 与上位控制系统；配套 USB 调试工具，支持参数快速组态，部分型号集成大气开关，省去独立大气检测元器件，还可配置固态继电器触点用于工艺联锁控制Brooks Ins...。

产品结构紧凑，焊接式本体耐工艺污染，维护周期长，适配半导体设备锁气室、传输腔、粗抽管路、薄膜沉积、真空镀膜、冻干、热处理等场景。在真空腔体抽气、泄压全过程中连续监测压力，防止过压风险，为真空工艺提供连续可靠压力数据。布鲁克斯 VersaTorr 打破传统真空规量程局限，以一体化、高稳定、低维护优势，成为半导体、精密真空装备领域的主流宽量程真空测量解决方案。