Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-全金属密封 无橡胶件，耐腐蚀性工艺气体，低放气低颗粒，闭环 PID 精准控压，适配半导体真空与腐蚀性气体制程。

Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-响应迅速 闭环 PID 控制响应迅速，可快速补偿流量波动，全金属密封流道耐腐蚀，多通讯可选，适配半导体真空精密气体压力控制。

Brooks布鲁克斯-密封压力控制器-控压精准 闭环 PID 控制实现高精度稳压，密封流道泄漏率低，响应速度快，支持多协议通讯，适配半导体真空工艺，动态工况下压力控制稳定。闭环 PID 控制实现高精度稳压，密封流道泄漏率低，响应速度快，支持多协议通讯，适配半导体真空工艺，动态工况下压力控制稳定。