【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-纳升测量
微加工热式传感结构，可捕捉纳升级微量液体流动，死体积极低，适配微流控芯片、生物试剂微量输送精密监测场景

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-纳升测量

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-纳升测量

SENSIRION 盛思锐液体流量传感器采用 MEMS 微加工热式传感结构，支持纳升级超微量液体测量，传感区域死体积极低，可精准识别纳升尺度流体流动与微小脉动，集成信号调理与温度补偿，多用于微流控芯片、生物试剂输送、单细胞实验、精密微量给药等超微量流体监测场景。

常规液体流量传感器检测限多在微升级别，面对纳升量级流体时灵敏度不足。大尺寸流道会稀释微量流体信号，微弱流量极易被噪声掩盖；同时死体积偏大，管路内残留液体会干扰计量结果，无法满足生物实验、微量试剂分配等对超小液量的严苛要求，难以捕捉短暂、间断的纳升流体脉冲。

盛思锐依托 MEMS 微加工工艺，在芯片上构筑微型传感流道，流道尺度适配纳升流体。热式传感单元尺寸微小，热容量极低，流体流过时产生的微弱温度场变化即可被感知。传感器依靠流体带走热量的差异解析流量，能够识别纳升级液体的启停、断续脉冲与微小流量波动，实现超微量流体检测。

传感器内置温度补偿算法，抵消液体介质温度变化带来的热传导特性偏移。即便流体温度存在小幅波动，依然维持纳升区间的测量稳定性，降低温漂造成的计量误差。整体死体积控制优异，减少样品残留，珍贵生物试剂损耗更低，契合生物实验、微量分析场景的使用需求。

高纳升测量性能的同时，保留双向检测、快速响应等优势。流体换向、脉冲式微量输送时，传感器可快速识别流量与流向变化，输出稳定信号。器件集成度高，体积小巧，便于和微流控芯片封装集成，适配实验室分析设备与便携式微量流体装置。

SENSIRION 盛思锐纳升测量液体流量传感器，解决传统流量计无法检测纳升级流体、死体积大、样品损耗高的痛点，实现超微量液体的实时监测，减少珍贵试剂消耗，为生物微流控、单细胞分析、精密给药设备提供超小流量传感方案