【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性优异
热式 MEMS 传感搭配片上补偿，宽量程内输出信号线性度好，减少校准工作量，适配微流控、医疗微量流体闭环计量场景。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性优异

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性优异

SENSIRION 盛思锐液体流量传感器采用热式 MEMS 传感架构，流量 - 输出信号线性优异，依托片上非线性补偿算法，在有效量程区间维持稳定线性关系，降低后期校正成本，支持微流控分析、医疗微量给药、精密试剂输送等需要高精度流量闭环计量的场景。

普通热式流量传感器天然存在非线性特性，流量与输出信号曲线弯曲。尤其在微流量区间，输出曲线曲率更大，单纯依靠固定系数换算会带来明显计量偏差。设备厂商必须分段标定，建立多段修正表，增加测试工作量；量程跨幅大时，高低流量点误差不一致，导致系统在不同工况下计量精度波动，影响流体控制稳定性。

盛思锐在芯片生产阶段完成多流量点标定，将非线性补偿参数固化存储。传感单元采集流体换热信号后，片内实时运算校正，输出与流量近似线性的信号。从纳升微量区间到量程上限，曲线偏差被有效抑制，大幅简化后端 MCU 换算逻辑，无需复杂分段拟合算法。

传感器同时搭载介质温度补偿，消除液体温度改变带来的热传导扰动。液体温度变化会改变热式测量基准，内置补偿实时修正，保证不同液温条件下，线性特性不劣化。微小脉动流量、连续稳态流量均可保持一致计量特性，批次间一致性好，量产时无需逐器件复杂标定。

在线性性能之外，产品延续双向检测、快速响应、死体积小等优势。流量启停、往复换向时，传感器输出信号跟随流量平稳变化，无明显跳变，便于主控单元稳定调控泵阀，减少流量超调。微型结构易于嵌入微流管路，适配小型精密流体设备集成。

SENSIRION 盛思锐线性优异液体流量传感器，解决传统热式流量计输出非线性、分段标定繁琐、不同流量段精度不均的痛点，简化软件算法与产线测试流程，提升全量程计量一致性，为微流控、医疗精密流体系统提供高线性流量监测方案。