【简介】MKS美国-流量控制器-热式传感技术
依托热传感原理直接测量气体质量流量，不受压力波动干扰。控制精度高、响应快，支持多通讯协议，金属密封可选，广泛用于半导体、真空镀膜等精密供气场景。

MKS美国-流量控制器-热式传感技术

MKS美国-流量控制器-热式传感技术

MKS 作为全球真空与气体精密控制领域厂商，旗下热式质量流量控制器依托成熟热传感技术，为半导体、光伏、真空镀膜、特种材料制备等行业提供高精度气体流量调控方案，是精密工艺供气环节的核心元器件。

产品采用热式传感测量原理，传感管内分布两组测温元件，气体流过时带走热量，通过检测温差变化直接换算气体质量流量，测量结果不受温度、压力波动带来的体积流量干扰，实现质量流量直接采集，区别于差压式流量器件，在低压、微流量工况下稳定性更优。传感器与流量调节阀、控制电路集成一体，形成闭环控制系统，设定流量与实际流量实时比对，快速调节阀门开度，响应速度快，控制重复性优异。

MKS 热式 MFC 支持多种工艺气体适配，可兼容腐蚀性、惰性、反应性气体，阀体可选金属密封结构，降低气体泄漏风险，满足高洁净工艺要求。产品提供丰富的通讯接口，包含模拟量、RS485、DeviceNet、EtherCAT 等，便于接入自动化产线控制系统，实现上位机远程参数设定、状态监控与故障诊断。量程覆盖宽广，从 sccm 级微流量到 slm 大流量型号齐全，适配不同工艺供气需求。

器件内部做了抗振、温漂补偿设计，长时间连续运行下零点漂移小，测量精度稳定，可承受半导体、镀膜产线持续不间断工作环境。出厂经过严格校准，每台产品针对对应气体标定，保证工艺气体配比精准，避免流量偏差造成产品良率下降。

在半导体刻蚀、沉积工艺，光伏电池镀膜，光学涂层，实验室气相反应等场景中，MKS 热式流量控制器精准控制各类工艺气体的通入比例与通入时长，保障工艺一致性。凭借稳定可靠的性能、的配套服务，MKS 热式 MFC 在精密气体控制市场得到广泛应用，是制造工艺气体流量控制的优选方案。