【简介】MKS美国-流量控制器-MEMS 微传感芯片
芯片体积小巧，响应迅速，具备优异抗振与温漂补偿能力。可精准测控微小气体质量流量，洁净流道设计，适配半导体、镀膜等精密工艺供气。（59

MKS美国-流量控制器-MEMS 微传感芯片

MKS美国-流量控制器-MEMS 微传感芯片

MKS 依托先进 MEMS 微机电传感技术，推出搭载 MEMS 微传感芯片的气体质量流量控制器，为半导体、真空镀膜、光伏、特种材料制备等工艺提供轻量化、高精度气体流量测控方案，是新一代精密供气控制核心部件。

产品核心为 MEMS 微传感芯片，在硅基晶圆上通过微纳加工工艺集成微型测温电阻与流体通道，芯片尺寸微小，传感区域仅毫米级别。当工艺气体流过微通道，气流带走传感元件热量，通过检测温度差信号实时换算气体质量流量。相比传统热式 MFC 粗大毛细管传感结构，MEMS 芯片热容量极低，信号响应速度大幅提升，流量调节反馈更快，零点稳定性更好。

MEMS 芯片一体化集成制造，内部通道精密蚀刻，一致性强，批量校准误差小。芯片内置温漂补偿电路，降低环境温度变化带来的测量偏差，抗振动能力优于传统热式传感器，适合设备紧凑、存在振动干扰的安装工况。流道可采用全金属密封结构，满足高洁净、腐蚀性工艺气体使用需求，泄漏率低，适配特种反应气体。

该系列 MFC 量程覆盖微流量到大流量区间，从 sccm 微量工艺气体控制到 slm 大流量场景均可选型。通讯接口丰富，支持模拟信号、RS485、EtherCAT 等主流总线协议，可无缝对接产线自动化控制系统，实现流量设定、实时监测、故障报警与远程诊断。

得益于 MEMS 微型化优势，整机体积更为紧凑，有效节省设备内部安装空间，便于真空腔体、小型工艺设备集成。出厂经过单台气体标定，保证流量重复性与控制精度，长时间连续工作下漂移量小，保障工艺批次一致性。

在半导体沉积刻蚀、光学薄膜镀膜、光伏制备、科研气相反应等场景，MKS MEMS 流量控制器精准调控各类工艺气体配比，减少流量波动对成品良率的影响。凭借微型传感芯片带来的快响应、高稳定、小型化优势，MKS MEMS 型 MFC 成为精密制造领域新一代气体流量控制优选产品。