【简介】MKS美国-流量控制器-多气体修正数据表
内置多种工艺气体转换系数，无需单独硬件更换，一键切换气体类型。适配多种反应、惰性气体，简化产线调试，用于半导体、镀膜精密供气

MKS美国-流量控制器-多气体修正数据表

MKS美国-流量控制器-多气体修正数据表

MKS 数字式气体质量流量控制器内置多气体修正数据表，预存储各类工艺气体对应的转换系数，无需更换硬件，即可快速切换气体种类，适配半导体、真空镀膜、光伏薄膜、气相合成等多气体轮换工艺，为产线气路配置提供高度灵活的流量测控方案。

传统流量控制器大多仅针对单一气体标定，更换工艺气体时，气体比热容、导热系数存在差异，会直接造成流量测量失真。如需切换气体，往往需要更换 MFC 硬件或者返厂重新标定，增加设备采购成本与停机调试时间。MKS 这款 MFC 将氮气、氩气、氦气、氢气及各类反应性工艺气体的修正系数预存于控制器内部数据表，切换气体型号时，上位机或本地界面直接调用对应修正参数，自动完成流量换算，无需拆机重新标定，大幅简化工艺换型流程。

产品内置传感采集与数字运算单元，调用气体修正表后，在微流量至满量程区间均可维持稳定的测量精度。同时支持自定义气体系数录入，面对特殊混合气体，可手动写入专属修正参数，满足小众特种工艺气体使用需求。阀体可选全金属密封结构，泄漏率低，流道洁净，兼容惰性气体、反应气体以及部分腐蚀性特种工艺气体。

通讯接口配置丰富，支持模拟信号、RS485、EtherCAT 等主流工业总线，可无缝接入自动化控制系统，远程完成气体类型切换、参数调取、实时流量采集与设备状态监测。每台 MKS 流量控制器出厂经过多气体验证测试，数据表内各项修正参数经过标定核验，保障气体切换后流量测量准确。整机结构经过抗振优化，适配设备狭小舱内安装，运维周期更长。

在半导体刻蚀、薄膜沉积、光学涂层、材料科研等场景，产线经常需要轮换多种工艺气体进行掺杂、沉积、刻蚀。MKS 依托内置多气体修正数据表，单台设备可适配多种气体，减少产线 MFC 备货种类，降低备件库存。气体快速切换功能缩短工艺换型调试时间，保障换气体后流量控制精准稳定，稳定维持工艺气体配比，减少批次差异，提升生产柔性与成品良率。凭借内置多气体参数库，该流量控制器成为多气体轮换工艺场景的优选元器件。