【简介】MKS美国-流量控制器-自定义流量单位转换
内置多单位换算模型，可切换 sccm、slm 等制式。适配不同上位机读取习惯，省去外部换算，适配半导体、镀膜多场景数字化供气管控。

MKS美国-流量控制器-自定义流量单位转换

MKS美国-流量控制器-自定义流量单位转换

MKS 数字式气体质量流量控制器支持自定义流量单位转换，内置标准化单位换算模型，可灵活切换 sccm、slm 等主流流量制式，适配不同上位机、工控平台的数据读取习惯，广泛应用于半导体、真空镀膜、光伏薄膜、精密气相合成等数字化供气场景，简化产线数据对接工作。

传统流量控制器输出单位固定，当产线上位机、数据采集系统、工艺软件采用不同流量制式时，需要在 PLC 或者上位机端额外编写换算程序。不仅增加编程工作量，还会引入二次换算误差，容易出现设定值、读数不匹配的问题，提升调试难度。MKS 这款 MFC 在设备内部完成流量单位实时转换，无需外部程序运算，直接输出用户选定单位的流量数值，实现设定、反馈、累计数据单位统一。除常用标准体积流量单位外，还支持百分比满量程等显示方式，用户可根据工艺需求自定义选用。

产品搭载高性能传感单元与高速数字处理芯片，单位切换不改变底层流量测量精度，从微量供气至满量程区间，流量测控性能保持稳定。阀体可选全金属密封结构，泄漏率低，流道洁净，兼容惰性气体、反应气体以及各类腐蚀性特种工艺气体，满足半导体等高洁净工艺标准。

通讯接口配置丰富，支持模拟信号、RS485、EtherCAT 等主流工业总线，可无缝接入自动化控制系统，远程完成流量单位配置、流量采集、设备状态监测。每台 MKS 流量控制器出厂完成标定，内置换算模型经过校验，单位切换前后测量结果准确一致。整机结构经过抗振优化，适配设备狭小舱内安装，运维周期更长。

在半导体晶圆刻蚀、薄膜沉积、光学涂层、材料科研等场景，不同工艺模块、上位机软件往往采用不同流量单位。MKS 凭借自定义流量单位转换能力，省去外部换算程序开发，消除二次换算带来的数值偏差，实现全链路单位统一，降低系统调试工作量，提升数据可读性与工艺参数管理效率。依靠灵活的单位适配能力，该流量控制器成为多平台、数字化精密供气场景的优选元器件。