【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-高精度
依托 CMOSens® 热式 MEMS 技术，无运动部件，支持微流量双向测量。自带温度补偿与出厂校准，响应迅速，触液材质耐化学腐蚀，适配生命科学与工业微量流体

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-高精度

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-高精度

盛思锐（SENSIRION）依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，打造系列高精度液体流量传感器，专注微流量、超微量液体监测场景，为流体精密控制提供可靠测量方案。产品采用介质隔离式测量原理，传感芯片贴装于流道外壁，无需与被测液体直接接触，流道为直通结构，内部无叶轮、活塞等运动部件，从根源减少磨损、卡堵故障，大幅提升长期运行稳定性Sensirion。

传感器出厂完成线性校准与片上温度补偿，可抑制环境与流体温度变化带来的测量漂移，支持双向流量检测，量程比最高可达 200:1，覆盖纳升级至数百毫升每分钟的宽区间微流量测量，典型重复性可达 0.5%，精准捕捉微量供液、药剂分配过程中的流量波动。凭借 MEMS 芯片低热容特性，响应速度最快可达 20ms，能够实时追踪微量泵脉冲式动态流体变化，同时内置气泡、管路堵塞诊断功能，可及时预警流体异常状态，保障系统安全运行Sensirion。

触液部件选用玻璃、PEEK、PTFE、特种不锈钢等惰性材质，具备优异耐化学腐蚀能力，兼容水溶液、醇类、有机溶剂、油品等多种介质，适配各类腐蚀性试剂流体工况。产品形态丰富，包含 SLF3x、SLI、LG16、SLS 等多系列型号，有紧凑型 OEM 嵌入款与独立外壳工业款可选，配备 I²C、RS485、模拟量等多种信号输出，标准化流体接口，方便快速集成到设备流体回路，降低整机开发难度Sensirion。

广泛应用于生命科学诊断仪器、试剂微量分液、细胞分析、实验室流体系统、半导体工艺供液、工业精密喷涂、微量药剂输送等领域。无论是医疗体外诊断的试剂定量控制，还是工业自动化微量流体闭环调节，盛思锐液体流量传感器均可实现稳定、高精度的流量计量，是微流体行业主流流量监测元器件，兼顾测量精度、介质兼容性与长期可靠性，满足精密流体设备严苛设计需求。