【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-微流量
采用 CMOSens® 热式 MEMS 技术，无运动件，可测纳升级微量流体。自带温度补偿，响应快，耐化学介质，支持双向流量检测，适配生命科学、精密微流体监测场景。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-微流量

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-微流量

盛思锐（SENSIRION）微流量液体流量传感器基于自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，专为纳升级到毫升级的微量流体测量开发，解决传统叶轮式传感器无法实现超微流量检测的痛点，是精密微流体系统的核心测量元器件。产品采用非侵入式热传感原理，传感芯片不直接接触流体，流道内部无叶轮、齿轮等运动结构，不存在卡滞、磨损问题，可长期稳定工作，维护成本极低。

传感器出厂完成全量程标定，内置片上温度补偿算法，有效抵消流体与环境温度波动带来的测量误差，保障微流量工况下测量一致性。支持双向流量检测，量程比宽，能够精准捕捉微小流量变化，重复性优异，快速响应流体动态变化，可识别管路内气泡、断流等异常工况，实时反馈流体状态，便于设备做闭环控制与故障预警。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材料，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、各类有机溶剂、稀释试剂等多种介质，适配生化试剂、半导体化学品等腐蚀性流体。产品线涵盖 SLF、SLI 等多个系列，既有适合嵌入整机的小型 OEM 芯片模组，也有集成流道的成品传感器，占用空间小，适配设备小型化设计。通讯接口支持 I²C 数字输出，部分型号可选其他信号方式，接口标准化，流体接头集成简便，缩短整机研发与调试周期。

该系列传感器大量应用于生命科学体外诊断、微量试剂分液、色谱分析、细胞培养流体控制、半导体精密供液、实验室分析仪器、药物微量输送等场景。在微量药剂分配、试剂精准配比这类对液体计量要求严苛的设备中，盛思锐微流量传感器能够持续稳定监测流体，保障每次分液、供液的精度。

在微流体技术快速发展的当下，传统流量元件难以兼顾小量程、高精度与介质兼容性。盛思锐凭借成熟的 MEMS 热传感技术积累，持续优化微流量测量性能，产品兼具高稳定性、低死体积、耐腐蚀优势，广泛被分析、医疗及半导体设备厂商选用，为各类精密微量流体控制系统提供可靠的流量监测解决方案。