【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-快响应
依托 CMOSens® 热式 MEMS 低热容芯片，最快 20ms 极速响应，捕捉微量泵脉动流量。内置温度补偿，无活动件，I²C 输出，适配动态微流体闭环控制。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-快响应

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-快响应

盛思锐（SENSIRION）快响应液体流量传感器，基于自研 CMOSens® 低热容 MEMS 热传感芯片打造，专为动态变化的微流体工况设计，具备毫秒级快速响应能力，可精准捕捉微量泵脉动供液、瞬时启停等快速波动流体信号，满足精密流体闭环控制需求。

传感器核心 MEMS 芯片热容量极低，热传感单元可迅速感知流体流速变化，最快可达 20ms 响应速度，相比传统流量元件大幅缩短信号采集延时，实时反馈流量瞬时变化。产品出厂完成全量程标定，内置片上温度补偿算法，有效抑制环境与介质温度波动带来的测量漂移，保证动态工况下测量精度与重复性。传感器流道为直通结构，无叶轮等活动部件，不存在机械惯性造成的信号滞后，部分型号支持双向流量检测，同时可监测气泡、断流等流体异常状态，及时输出预警信号。

触液部件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法药剂等多种介质。产品线包含 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，整体体积小巧，适配仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，信号传输稳定，流体接口标准化，可快速集成至整机流体回路，缩短设备研发调试周期。

广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液、细胞流体培养、半导体精密供液、实验室微流控系统、微量药物输送等场景。在脉冲式微量供液、快速切换流体配比这类动态工况中，快响应特性优势明显，控制器可依据实时流量信号快速调节泵体输出，保障每次分液、配液计量精准。

在流体设备开发中，普通流量传感器响应迟缓，无法跟上快速脉动流体变化，容易出现计量偏差。盛思锐依托低热容 MEMS 技术打造快响应液体流量传感器，兼顾高速信号采集、高精度测量与稳定可靠的结构设计，减少控制滞后问题，助力流体系统实现高效闭环调节，被医疗分析仪器、半导体与实验室设备厂商广泛选用，为动态微流体系统提供高性能流量监测解决方案。