【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性输出
基于 CMOSens® MEMS 技术，具备优异线性输出特性，流量信号线性度好。内置温度自补偿，无活动件，I²C 数字输出，保障微流体系统精准计量。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性输出

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-线性输出

盛思锐（SENSIRION）线性输出液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，实现流量与输出信号之间优异的线性对应关系，在全量程范围内保持稳定线性度，简化流体系统换算逻辑，为微流体精密计量提供可靠信号基础。

传感器出厂经过多点流量标定，对原始传感信号进行芯片内部线性化处理，输出信号与实际流量呈稳定线性关系，无需用户在软件端搭建复杂非线性拟合算法。搭配内置片上温度自补偿功能，可抑制环境与介质温度变化带来的信号偏移，在变温工况下依然维持良好线性特性。流道采用直通无障碍结构，无叶轮等活动机械部件，规避磨损、卡堵风险，部分型号支持双向流量检测，毫秒级响应速度，可捕捉微量泵脉动流量，同时具备气泡、断流诊断能力，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，适配仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，经过线性校正后的数字信号直接输出，抗干扰性能强，流体接口标准化，集成便捷，大幅降低整机软件开发工作量，缩短设备研发周期。

广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。在需要精准定量分液、流体闭环调节的设备中，良好的线性输出特性可简化标定流程，提升全量程计量精度，保证高低流量段测量结果同样稳定可靠。

在精密流体仪器开发中，非线性流量信号需要大量软件补偿运算，增加开发难度，还容易引入换算误差。盛思锐线性输出液体流量传感器，在芯片端完成信号线性化处理，兼顾优秀线性度、温度自补偿、无堵塞、快响应等多重优势，降低设备开发门槛，保障批量产品测量一致性，被医疗分析、半导体与实验室设备厂商广泛采用，为各类微流体系统提供高线性度流量监测解决方案。