【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低迟滞
依托 CMOSens® MEMS 热式技术，消除机械回差，流量升降测量偏差小。内置温度自补偿，响应快，I²C 输出，适配动态微流体闭环定量。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低迟滞

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低迟滞

盛思锐（SENSIRION）低迟滞液体流量传感器，基于自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，无叶轮、弹簧等机械结构，从根源消除机械回差，实现流量上升与下降过程的低迟滞测量，适配动态往复、流量频繁变化的精密微流体闭环控制系统。

传统机械式流量元件受机械惯性、摩擦阻力影响，流量增大与减小过程中读数不一致，存在明显迟滞误差。盛思锐热式传感原理依靠流体热交换检测流速，不存在机械滞后效应，配合出厂多点标定、片上线性化与温度自补偿，有效抑制温漂带来的信号偏移，在流量升降变化时保持读数一致性。传感器具备毫秒级快速响应，可捕捉微量泵脉动流量，部分型号支持双向流量检测，同时可监测气泡、断流等流体异常状态，便于设备实现故障预警与实时流体调节。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，满足仪器小型化设计需求。标配 I²C 数字通讯接口，数字信号抗干扰能力强，流体接口标准化，集成简便，降低整机软硬件开发调试难度，缩短设备量产周期。

产品广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、细胞培养流体循环、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。在流量频繁升降、双向流体切换的工况下，低迟滞特性可以保证流量增减过程计量准确，避免迟滞误差造成定量偏差，提升闭环控制精度。

在微流体设备研发中，流量迟滞会直接影响闭环控制效果，造成定量不准、配比失衡等问题。盛思锐这款低迟滞液体流量传感器依托无机械结构优势，搭配成熟 MEMS 信号处理技术，兼顾低迟滞、高重复性、快响应与耐腐蚀特性，减少动态工况下的测量偏差，保障流体控制精度。凭借优异动态测量性能，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为流量频繁变化的精密微流体系统提供可靠流量监测方案。