【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低噪声
采用 CMOSens® MEMS 热式技术，芯片级信号处理，流量输出噪声低。内置温度补偿，无活动件，I²C 数字输出，适合微弱微流量精准采集

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低噪声

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-低噪声

盛思锐（SENSIRION）低噪声液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，集成芯片级信号调理电路，有效抑制信号噪声干扰，实现微弱微流量信号稳定采集，解决微量流体测量中信号信噪比不足的难题，是精密微流体检测的核心元器件。

微流量工况下流量信号本身幅值微弱，极易受电路、流体扰动干扰产生噪声，造成读数跳动。盛思锐在传感芯片内部集成信号滤波与处理单元，对原始传感信号做降噪处理，输出稳定平滑流量数据。配合出厂多点标定与片上温度自补偿，实时修正温度波动带来的信号偏移，进一步保障测量稳定性。传感器采用直通流道，无叶轮等活动部件，消除机械振动引入的额外噪声，毫秒级快速响应，测量重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断功能，便于系统实现流体闭环控制与故障预警。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，适配仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，数字信号抗干扰能力优于模拟信号，流体接口标准化，集成便捷，降低整机信号调试难度，缩短设备研发量产周期。

产品广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。在纳升级、低流速微量供液场景中，低噪声特性可减少流量读数波动，提升微量定量分液精度，保障检测与实验数据稳定可靠。

在微流体设备开发中，信号噪声会掩盖真实微流量变化，导致定量误差、数据跳变。盛思锐这款低噪声液体流量传感器，凭借芯片内置信号降噪方案、无机械振动结构，在微弱流量条件下保持高信噪比，兼顾低漂移、高重复、耐腐蚀等特性，减少后端软件滤波压力。凭借优异微弱信号采集能力，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为微量流体监测提供低噪声、高稳定的流量测量解决方案。