【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-一体化芯
搭载 CMOSens® 集成 MEMS 芯片，传感、信号调理与校准单元集成一体。内置温度补偿，I²C 输出，无活动件，便于快速嵌入微流体设备

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-一体化芯

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-一体化芯

盛思锐（SENSIRION）一体化芯体液体流量传感器，依托自研 CMOSens® MEMS 集成传感技术，将流量传感单元、温度采集模块、信号调理电路、出厂校准存储单元集成于单一芯体内部，实现传感一体化设计，大幅简化外围电路设计，方便整机快速集成，是精密微流体设备优选元器件。

传统流量传感方案需要搭配独立放大、滤波、温度采集与校准存储电路，BOM 器件多，占用 PCB 空间，增加调试工作量。盛思锐一体化芯体把全部核心功能封装集成，传感采集、信号处理、温度补偿、标定参数存储全部在芯体内完成，直接输出经过校正后的数字流量信号。传感器采用直通无障碍流道，无叶轮等活动机械部件，规避磨损、卡堵风险，毫秒级快速响应，测量重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断能力，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式芯体模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，适配仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，外围电路极简，流体接口标准化，可快速接入流体回路，降低硬件开发难度，缩短设备研发与量产周期。

产品广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。一体化芯体减少外部元器件数量，降低整机物料成本，同时减少分立器件带来的信号干扰，提升批量产品一致性。

在精密流体仪器开发中，分立传感组件会增加电路复杂度，容易引入信号误差，提升调试门槛。盛思锐这款一体化芯体液体流量传感器，把传感、补偿、校准、信号处理集成一体，兼顾低噪声、低漂移、耐腐蚀等多项性能优势，简化硬件设计，减少整机开发投入。凭借高度集成的芯体方案，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为各类微流体系统提供高集成度、易集成的流量监测解决方案。