【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-MEMS 芯
搭载自研 CMOSens® MEMS 芯片，依托热式传感原理实现微流量测量。内置温度补偿，无活动部件，I²C 数字输出，适配医疗、分析仪器精密流体监测。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-MEMS 芯

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-MEMS 芯

盛思锐（SENSIRION）MEMS 芯体液体流量传感器，核心搭载自研 CMOSens® MEMS 微机电芯片，采用热式传感原理，依托微米级加工工艺打造传感单元，专门面向纳升级至毫升级微流体测量场景，为精密流体控制系统提供高性能流量检测核心。

区别于传统机械式流量检测元件，MEMS 芯片在微小硅基基底上集成测温、热传感单元，依靠流体流动带来的热传递变化检测流速，流道内部无叶轮、转子等运动部件，从根源消除磨损、卡堵隐患。芯体内部集成信号调理、存储与温度补偿模块，出厂完成多点标定，可实时补偿温度波动带来的测量漂移，保障微流量下测量精度。传感器具备毫秒级快速响应，重复性优异、迟滞低，部分型号支持双向流量检测，同时可识别气泡、断流等流体异常信号，支持系统搭建闭环调控与故障预警。

触液部件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法药剂等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供裸芯 OEM 模组与集成流道成品传感器，MEMS 芯体体积微小，便于仪器小型化、轻量化设计。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的数字信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成简单，降低整机硬件开发与调试难度，缩短设备量产周期。

产品广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。MEMS 芯片微型化优势，使其能够嵌入空间受限的流体模块，在微量试剂定量分配场景稳定采集流量数据，保障分液精度。

在微流体设备行业，传统传感元件体积大、结构复杂，难以适配设备小型化趋势。盛思锐以 CMOSens® MEMS 芯体为核心的液体流量传感器，将微机电工艺与热式流量测量技术结合，兼具低噪声、低漂移、耐腐蚀等特性，简化流体模块设计。凭借微型 MEMS 芯带来的高集成度与稳定测量性能，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为微流体精密监测提供可靠的核心传感方案。