【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-CMOSens
采用自研 CMOSens® 传感技术，基于 MEMS 热式原理测量微流量。内置片上标定与温度补偿，无活动件，I²C 输出，适配各类精密微流体设备。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-CMOSens

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-CMOSens

盛思锐（SENSIRION）液体流量传感器，核心依托 CMOSens® 传感技术，将 MEMS 微机电传感单元与 CMOS 集成电路集成在同一芯片基底，实现传感、放大、信号处理、数据存储一体化，是微流量精密测量的核心技术方案。

CMOSens® 是盛思锐自主研发的芯片制造工艺，在单颗硅芯片上同时制作热式流量传感结构与数字电路。依靠流体热交换原理检测流速，流道内无叶轮、转子等机械活动部件，不存在磨损、卡堵问题。芯片出厂完成多点流量标定，标定参数存储在片上存储器，搭配内置温度补偿算法，自动抵消环境与介质温度变化带来的测量漂移，保障微流量工况下测量稳定性。传感器具备毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小、噪声低，部分型号支持双向流量检测，还可识别气泡、断流等流体异常，便于设备搭建闭环控制与故障预警。

触液组件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐化学腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，整体结构小巧紧凑，满足精密仪器小型化设计需求。标配 I²C 数字通讯接口，直接输出经过校正的流量数字信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成便捷，大幅降低整机软硬件调试工作量，缩短设备研发与量产周期。

广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。依托 CMOSens® 一体化芯片优势，传感器体积更小，信号链路更短，减少外部分立器件带来的信号干扰，保障大批量仪器之间测量一致性。

在精密微流体行业，传统传感方案传感单元与处理电路相互独立，电路复杂、占用空间大。盛思锐 CMOSens® 技术实现 MEMS 传感与 CMOS 电路单片集成，兼顾高精度、快响应、低漂移、耐腐蚀等多项优势，简化设备设计。凭借这项核心技术，盛思锐液体流量传感器被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商大量采用，为各类精密微流体系统提供稳定可靠的流量监测解决方案。