【简介】SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-介质隔离
依托 CMOSens® 热式 MEMS 技术，传感芯片与被测流体相互隔离。无活动件，内置温度补偿，I²C 输出，保护传感芯体，适配腐蚀性微流体测量。

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-介质隔离

SENSIRION 盛思锐-液体流量传感器-介质隔离

盛思锐（SENSIRION）介质隔离液体流量传感器，依托自研 CMOSens® 热式 MEMS 传感技术，采用介质隔离式测量架构，传感芯片不直接接触被测流体，通过隔离层实现芯片与介质物理分离，有效保护核心 MEMS 芯体，适配腐蚀性、易污染的微流体测量场景。

传感器依靠热传导原理感知流体流速，传感元件位于流道外壁，与液体之间被隔离层隔开，介质不会直接接触 MEMS 芯片，避免试剂腐蚀、颗粒附着污染造成芯片损伤与性能衰减。流道采用直通无障碍结构，无叶轮、转子等活动部件，消除磨损与堵塞风险。产品出厂完成多点标定，内置片上温度自补偿，自动修正温度波动带来的测量漂移，保障微流量下计量稳定。传感器毫秒级快速响应，重复性高、迟滞小，部分型号支持双向流量检测，同时具备气泡、断流诊断功能，便于系统实现流体闭环控制与故障预警。

触液部件可选 PTFE、PEEK、玻璃等惰性材质，耐酸碱与有机溶剂腐蚀，兼容水溶液、醇类、生化试剂、半导体湿法化学品等多种介质。产品线涵盖 SLF、SLI 系列，提供 OEM 嵌入式模组与集成流道成品传感器，结构紧凑，满足精密仪器小型化设计。标配 I²C 数字通讯接口，输出经过校正的流量信号，抗干扰能力强，流体接口标准化，集成简便，降低整机研发调试难度，缩短设备量产周期。

产品广泛应用于体外诊断分析仪、色谱微量分液系统、细胞培养流体回路、半导体精密供液、实验室微流控装置、微量药物输送等场景。介质隔离设计可隔离腐蚀性试剂与杂质，延长传感器使用寿命，减少因介质侵蚀带来的更换成本，保障长期连续监测稳定。

在精密流体设备开发中，很多化学试剂具备腐蚀性，直接接触传感芯片极易造成元件失效。盛思锐这款介质隔离液体流量传感器，隔离保护 MEMS 核心芯片，兼顾高精度、快响应、耐腐蚀等特性，拓宽介质适用范围。凭借介质隔离的独特优势，被医疗分析仪器、半导体、实验室设备厂商广泛选用，为各类腐蚀性微流体工况提供可靠流量监测方案。